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Fabrication of III-V semiconductor quantum dots

机译:III-V半导体量子点的制造

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摘要

We propose a method for the fabrication of self-assembled semiconductor quantum dots (QDs) and the control of their density and emission wavelength. This method would be fundamental toward the fabrication of nanophotonic devices. We used molecular beam epitaxy and fabricated self-assembled QDs from various materials under various growth conditions. We controlled the emission wavelength over a wide range (700-1700 nm) by changing the materials around the QDs. We used antimonide-related materials or a highly stacked structure to control the density of the obtained QDs within the range of 10~8-10~(13)/cm~2.
机译:我们提出了一种用于制造自组装半导体量子点(QD)以及控制其密度和发射波长的方法。该方法将是制造纳米光子器件的基础。我们使用了分子束外延技术,并在各种生长条件下由各种材料制成了自组装QD。通过改变量子点周围的材料,我们将发射波长控制在很宽的范围内(700-1700 nm)。我们使用与锑化物有关的材料或高度堆叠的结构,将获得的量子点的密度控制在10〜8-10〜(13)/ cm〜2的范围内。

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