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首页> 外文会议>Three-Dimensional and Multidimensional Microscopy: Image Acquisition and Processing VI >High-resolution real-time full-field interference microscopy
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High-resolution real-time full-field interference microscopy

机译：高分辨率实时全场干涉显微镜

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摘要

Abstract: We have built an interference microscope that produces in real-time images of cross-section slices located at adjustable depths inside 3-D objects. The microscope is based on a Michelson-type polarization interferometer. A light emitting diode (LED), used as an optical source at $lambda equals 840 nm with short coherence length, provides optical sectioning ability with better than 10 micrometer resolution in the depth dimension. By using high numerical aperture objective lenses (NA equals 0.95), the depth resolution can be improved to better than 1 micrometer, in good agreement with theory. Images can be produced at the rate of 50 per second using a multiplexed lock-in detection and MMX assembler-optimized calculation routines. Cross-section images inside an onion and at different depths in a multilayer silicon integrated circuit are presented. !11
机译：摘要：我们建立了干涉显微镜，可实时生成位于3D对象内部可调整深度的横截面切片的图像。该显微镜基于迈克尔逊型偏振干涉仪。发光二极管（LED）用作光源，λλ等于840 nm，具有较短的相干长度，在深度方向上提供了优于10微米分辨率的光学切片能力。通过使用高数值孔径的物镜（NA等于0.95），可以将深度分辨率提高到优于1微米，这与理论相吻合。使用多路锁定检测和MMX汇编程序优化的计算例程，可以每秒50张的速度生成图像。呈现了多层硅集成电路中洋葱内部以及不同深度的横截面图像。 ！11

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