声明
摘要
第一章 绪论
1．1 引言
1．2 BN晶体结构及其相变
1．3 BN薄膜及其基本特征
1．3．1 BN薄膜的物理化学性质
1．3．2 BN薄膜晶体缺陷
1．3．3 BN薄膜的掺杂及其电学应用研究
1．4 ZnO低压压敏电阻研究
1．4．1 ZnO的结构及性能特点
1．4．2 低压ZnO压敏电阻原理及研究现状
1．5 本课题的研究内容及意义
第二章 实验方法和表征原理
2．1 样品的制备方法和过程
2．2 薄膜结构表征技术及方法
2．2．1 傅里叶变换红外光谱(FTIR)
2．2．2 X射线衍射(XRD)
2．2．3 扫描电子显微镜(SEM)
2．3 V-I曲线的测量方法
第三章 BN薄膜结构研究
3．1 工作压强对BN薄膜结构的影响
3．2 溅射介质对BN结构的影响
3．3 溅射功率对沉积薄膜的影响
3．4 衬底温度对BN结构的影响
3．5 负偏压对BN结构的影响
第四章 BN／ZnO叠层薄膜电性能研究
4．1 氮气含量对ZAO／BN／ZAO电性能的影响
4．2 负偏压对ZAO／BN／ZnO电性能的影响
全文总结
参考文献
攻读硕士期间发表的论文
致谢
