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摘要
第一章 绪论
1.1 MEMS概述
1.2 表面微加工工艺
1.3 课题背景与意义
1.4 论文的主要工作
第二章 MEMS材料参数测试方法研究
2.1 热学参数的测试方法研究
2.1.1 直流激励法
2.1.2 交流激励法
2.1.3 激光激励法
2.2 力学参数的测试方法研究
2.2.1 接触测量法
2.2.2 拉伸测量法
2.2.3 被动测量法
2.2.4 静电吸合法
2.2.5 谐振测量法
2.3 本章小结
第三章 多晶硅薄膜热学参数的在线提取
3.1 热传递理论基础
3.2 热扩散系数在线测试结构
3.2.1 测试结构设计
3.2.2 测试原理
3.3 热导率在线测试结构
3.3.1 测试结构设计
3.3.2 测试原理
3.4 本章小结
第四章 多晶硅薄膜力学参数的在线提取
4.1 杨氏模量在线测试结构
4.1.1 测试结构设计
4.1.2 测试原理
4.2 残余应力在线测试结构
4.2.1 测试结构设计
4.2.2 测试原理
4.3 本章小结
第五章 实验及结果分析
5.1 表面微加工工艺流程
5.2 热扩散系数测试实验
5.2.1 版图设计与测试步骤
5.2.2 实验结果
5.2.3 实验结果分析
5.3 热导率测试实验
5.3.1 版图设计与测试步骤
5.3.2 实验结果
5.3.3 实验结果分析
5.4 杨氏模量测试实验
5.4.1 版图设计与测试步骤
5.4.2 实验结果
5.4.3 实验结果分析
5.5 残余应力测试实验
5.5.1 版图设计与测试步骤
5.5.2 实验结果分析
5.6 本章小结
第六章 总结与展望
致谢
参考文献
作者简介