声明
摘要
1 绪论
1.1 碳氟气体刻蚀SiO2的研究背景及意义
1.2 腔室模型研究进展
1.3 极板偏压的研究现状
1.4 本文研究内容及结构安排
2 模型介绍
2.1 反应器模型
2.2 鞘层模型
2.2.1 脉冲调制射频等离子体鞘层解析模型
2.2.2 等离子体鞘层混合模型
2.3 刻蚀槽模型
3 脉冲调制射频等离子体鞘层解析研究
3.1 脉冲电流幅值对极板电位和鞘层厚度的影响
3.2 脉冲频率对极板电位和鞘层厚度的影响
3.3 鞘层平均厚度和平均电压随电流的变化关系
3.4 低频阶梯形脉冲源的鞘层性质
3.5 结论
4 CFD-ACE+腔室数值模型及鞘层数值模型
4.1 CFD-ACE+腔室离子密度
4.2 射频等离子体鞘层数值模拟
4.2.1 离子能量分布(IEDs)
4.2.2 离子角度分布(IADs)
4.3 脉冲调制射频等离子体鞘层数值模拟
4.3.1 离子能量分布(IEDs)
4.3.2 离子角度分布(IADs)
4.4 结论
5 刻蚀槽形貌演化的研究
5.1 射频等离子体中刻蚀槽形貌的演化
5.2 脉冲调制射频等离子体中刻蚀槽形貌的演化
5.3 本章小结
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢