基于激光散射的在线检测表面特性参数的理论分析和实验研究

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现代制造行业中，工件表面质量是决定产品质量的关键性因素之一。如果能够在加工过程中实时检测工件表面的质量情况，并及时反馈给控制系统，通过闭环系统完全控制整个加工过程，则能够极大地提高生产率，保证产品质量。光电技术、激光技术和计算机技术的发展与广泛应用，为表面质量的在线检测提供了新的理论与技术。然而，加工过程中冷却液的使用，使得工件表面的光学实时检测变得非常困难。本文针对这一问题，提出了激光在线检测工件表面特性参数的新理论和新方法。
　　选择表面粗糙度作为表面质量的衡量参数，在对基于各种原理的表面粗糙度测量方法进行综述的基础上，结合机械加工表面的光学散射特性和机器视觉技术的特点，以及在线测量的要求，提出了在线检测工件表面特性参数的光学方法。借助特制的“透明窗”装置，在被测工件表面上方创造出一块透明测量区域，使得测量光束通过透明介质层到达工件表面实现测量。
　　“透明窗”方法的使用，使得被测表面上方出现了由玻璃层和流体层组成的透明附加层。针对该问题，以Beckmann散射理论为基础，分析激光束通过多层透明介质的反射、折射等光学现象，建立起透明介质层存在时的表面散射模型，推导出透明流体层中的流体处于静止状态时，光散射强度和表面粗糙度测量间的定量关系。在流体层中的流体流动时，研究激光束通过各种形态流体的传播特性，发现流体处于层流状态时，流体流动引起的光束偏移为10-5μm数量级，得到了流体的流动对光学检测的影响可以忽略的结论。
　　基于上述的理论分析，提出了表面特性参数光学在线检测的单一参数评定方案。该方案采集透明附加层存在时的表面散射图像，从中提取垂直于散射光带主方向的比值参数，通过拟合确定其和表面粗糙度之间的关系。
　　为了更精确地评定表面特性参数，本文还提出了多项参数评定方案，依据表面散射图像和流态特征参数来预测表面粗糙度。应用图像处理技术，从透明介质层存在时的表面散射图像中提取了能表征表面粗糙度的三个特征，包括散射光带主方向上的散射特征参数、散射光带短轴上灰度值分布的标准差和整幅散射图像的灰度特征。从流态模拟装置中提取了能反映透明附加层流体状态的特征参数，包括流体层高度和流体流量。
　　使用基于BP算法的多层前馈神经网络模型预测表面粗糙度，网络的输入特征由上述特征参数组成，输出层是表面粗糙度数值，得到了平均误差为1.395％的预测结果。针对神经网络模型自身的不足，改用核函数为径向基函数的支持向量回归机模型进行预测，可达到平均误差为0.6145%的预测结果。
　　建立了一套激光在线测量工件表面特性参数的实验系统，包括表面粗糙度光学检测装置和“透明窗”模拟装置两部分。利用该实验系统，验证了本文提出的新的散射模型和激光束通过流体的传播特性的理论分析，实现了表面特性参数在线测量的单一参数和多项参数评定方案。
　　本文的研究为冷却液加工条件下机械加工工件表面质量的光学在线测量提供了依据，将其应用于加工状态的实时监控，可提高产品合格率，获得巨大的经济效益。

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作者
郭瑞鹏;
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作者单位

上海交通大学;

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授予单位上海交通大学;
学科测试计量技术及仪器
授予学位博士
导师姓名陶正苏;
年度 2011
页码
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原文格式 PDF
正文语种中文
中图分类光检测技术;
关键词
工件表面; 激光散射; 质量检测; 透明介质; 流体流量;

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