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摘要
第一章 绪论
1．1 纳米科学技术概述
1．2 砷化镓材料的应用
1．3 砷化镓表面常见的纳米加工技术
1．3．1 光刻技术
1．3．2 纳米压印技术
1．3．3 聚焦离子束加工技术
1．3．4 机械直写技术
1．3．5 基于扫描探针的局部阳极氧化加工技术
1．4 摩擦诱导纳米加工技术
1．4．1 摩擦诱导直接加工
1．4．2 摩擦诱导选择性刻蚀加工
1．5 课题研究意义及研究内容
1．5．1 课题研究意义
1．5．2 课题研究内容
第二章 实验材料和方法
2．1 实验材料
2．2 实验设备
2．2．1 原子力显微镜
2．2．2 多点接触微纳米级加工设备
2．3 实验方法
2．3．1 砷化镓表面的摩擦化学去除实验
2．3．2 摩擦诱导选择性刻蚀加工
2．4 化学成分和微观结构的表征方法
2．4．1 X-射线光电子能谱及化学成分表征
2．4．2 透射电子显微镜及微观结构表征
第三章 刻划速度和环境湿度对砷化镓表面摩擦化学去除的影响规律
3．1 砷化镓表面摩擦化学去除的发现
3．2 刻划速度对砷化镓表面材料去除的影响
3．2．1 形貌观测
3．2．2 不同速度下砷化镓表面材料去除规律
3．3 环境湿度对砷化镓表面材料去除的影响
3．3．1 形貌观测
3．3．2 不同湿度下砷化镓表面材料去除规律
3．3．3 不同湿度下GaAs／SiO2配副的粘着力变化规律
3．4 本章小结
第四章 刻划速度和环境湿度对砷化镓表面摩擦化学去除的作用机理
4．1 砷化镓磨屑的XPS分析
4．2 材料去除区域XTEM分析
4．3 针尖形貌表征
4．4 砷化镓表面摩擦化学去除机理
4．5 本章小结
第五章 温度对砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀的影响研究
5．1 刻蚀剂浓度的选择
5．1．1 刻蚀剂浓度对砷化镓表面纳米凸结构高度的影响
5．1．2 刻蚀剂浓度对砷化镓表面粗糙度的影响
5．2 刻蚀温度对砷化镓表面的纳米凸结构高度的影响
5．3 刻蚀温度对砷化镓表面粗糙度的影响
5．4 刻蚀温度对砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀影响机理探究
5．5 砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀的条件优化探讨
5．6 本章小结
结论
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果
