钙钛矿型氧化物透明导电薄膜的制备与物理性质研究

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第一章透明导电薄膜研究背景

1.1引言

1.2透明导电薄膜的基本特点及物理性质

1.2.1透明导电薄膜的基本特点

1.2.2透明导电薄膜的物理性质

1.3透明导电薄膜的种类及研究现状

1.3.1二元透明导电薄膜

1.3.2二元-二元复合体系

1.3.3多元及多元-多元复合体系透明导电薄膜

1.3.4金属基复合透明导电薄膜研究现状

1.3.5 p型透明导电薄膜研究现状

1.4透明电子器件

1.4.1透明p-n结二极管

1.4.2透明场效应晶体管

1.5钙钛矿结构及其异质结

1.6透明导电薄膜的制备方法及应用

1.6.1透明导电薄膜的制备方法

1.6.2透明导电薄膜的应用

1.7透明导电薄膜存在的问题及发展方向

1.8本章小节

参考文献

第二章样品的制备及性能测试

2.1靶材的制备

2.2外延膜的制备方法简介

2.3外延膜的结构表征

2.3.1 X射线衍射

2.3.2扫描电子显微技术

2.4外延膜的电光学性能测量

2.5本章小结

第三章La0.05Sr0.95TiO3薄膜的制备、结构及电光学性质

3.1引言

3.2 La0.05Sr0.95TiO3靶材及薄膜的制备

3.2.1 La0.05Sr0.95TiO3靶材的制备

3.2.2 La0.05Sr0.95TiO3薄膜的制备

3.3 La0.05Sr0.95TiO3薄膜的结构及电光学性质研究

3.3.1 La0.05Sr0.95TiO3薄膜的微观结构

3.3.2 La0.05Sr0.95TiO3薄膜的电输运性质研究

3.3.3 La0.05Sr0.95TiO3/SrTiO3薄膜的光学透过率研究

3.4铁电电容器的制备与性质研究

3.4.1铁电电容器

3.4.2电容器的制备

3.4.3电容器的结构及性能表征

3.5本章小结

参考文献

第四章La0.05Sr0.95SnO3薄膜的制备、结构及电光学性质

4.1引言

4.2 La0.05Sr0.95SnO3靶材及薄膜的制备

4.2.1 La0.05Sr0.95SnO3靶材的制备

4.2.2 La0.05Sr0.95SnO3／SrTiO3薄膜的制备

4.3 La0.05Sr0.95SnO3薄膜的电光学性质的实验测量

4.3.1 La0.05Sr0.95SnO3薄膜的结构表征

4.3.2 La0.05Sr0.95SnO3薄膜的导电性能表征

4.3.3 La0.05Sr0.95SnO3薄膜的光学透过率表征

4.4制备温度对薄膜的结构与电光学性质的影响

4.4.1制备温度对La0.05Sr0.95SnO3薄膜的结构影响

4.4.2制备温度对La0.05Sr0.95SnO3薄膜的导电性能影响

4.4.3制备温度对La0.05Sr0.95SnO3薄膜的光学透过率影响

4.5 LSSO在铁电电容器中的应用

4.6 SrSnO3：SrTiO3二元透明氧化物薄膜

4.7本章小结

参考文献

在读期间发表的学术论文与取得的研究成果

致谢