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首页> 外文学位 >Performance enhancement of micromachined thin-film piezoelectric-on-silicon lateral-extensional resonators through substrate and tether modifications.
【24h】

Performance enhancement of micromachined thin-film piezoelectric-on-silicon lateral-extensional resonators through substrate and tether modifications.

机译：通过对基板和系链进行修改，微机械加工的薄膜硅上压电薄膜横向延伸谐振器的性能得到提高。

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摘要

Electromechanical resonators have formed the basis of telecommunication circuits for decades through the use of quartz crystal oscillators. Recently, MEMS resonators-based oscillators have become a possible replacement in selective applications for quartz crystal oscillators. The focus of this work is to show the performance of micromachined thin-film piezoelectric-on-silicon resonators can be improved through the design of the substrate-tether interaction. In lower frequency devices, resonators exhibit a significant increase to quality factors through the application of acoustic reflectors etched into the surrounding substrate. Simulation shows that the acoustic reflectors can limit the anchor loss for these devices and experimental results confirm efficacy. For higher frequency resonators, multiple tethers show greater quality factors, lower motional impedance, and improved power handling capabilities.
机译：通过使用石英晶体振荡器，机电谐振器已成为电信电路的基础。近来，基于MEMS谐振器的振荡器已成为石英晶体振荡器在选择性应用中的可能替代品。这项工作的重点是表明可以通过设计基板-绳索相互作用来提高微机械加工的薄膜硅压电谐振器的性能。在较低频率的设备中，通过应用蚀刻到周围基板中的声反射器，谐振器的品质因数显着提高。仿真表明，声反射器可以限制这些设备的锚固损耗，实验结果证实了其有效性。对于更高频率的谐振器，多根系绳表现出更高的品质因数，更低的运动阻抗和更高的功率处理能力。

著录项

  • 作者

    Harrington, Brandon Paul.;

  • 作者单位

    Oklahoma State University.;

  • 授予单位 Oklahoma State University.;
  • 学科 Engineering Electronics and Electrical.
  • 学位 Ph.D.
  • 年度 2013
  • 页码 122 p.
  • 总页数 122
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
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