激光刻蚀硅表面的形貌及其对浸润性的影响

管自生; 张强

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激光刻蚀硅表面的形貌及其对浸润性的影响

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利用脉冲激光在Si表面刻蚀具有不同宽度和深度的微槽形貌,通过测量接触角的大小研究其浸润特性,并分析了形貌与浸润性的关系.结果表明,在Si表面刻蚀微槽深度一定的条件下,刻蚀微槽宽度越宽,接触角越小;在Si表面刻蚀微槽宽度一定的条件下,刻蚀微槽越深,接触角越大,最高可达165°.而且Si表面上刻蚀后产生的细微尖峰结构对其浸润特性有显著的影响.因此,利用激光刻蚀表面方法可以在一定程度上调控固体表面的润湿性能.

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来源
《化学学报》 |2005年第10期|880-884|共5页
作者
管自生; 张强;
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作者单位

南京工业大学材料科学与工程学院;

南京;

210009;

南京工业大学材料科学与工程学院;

南京;

210009;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类化学;
关键词
激光刻蚀; 浸润性; Si表面;

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