激光刻蚀

摘要： 采用皮秒激光技术在聚二甲基硅氧烷(PDMS)基片表面制备微流道,分析了扫描速度、加工次数以及激光平均功率对微流道的影响规律,并对工艺参数进行了优化。实验表明:在保证扫描次数不变的情况下,微流道深度和宽度随着扫描速度的增加而减小;当扫描速度为定值时,微流道的深度和宽度会因为扫描次数的增加而增大。同时,测试了填充方式对微流道表面粗糙度的影响。在优化工艺参数的基础上,制备了尺寸精度高、深宽比和表面粗糙度可控的微流道。最后,通过等离子体键合的方式,制备了微流控器件,验证了超快激光直写PDMS微流道的工艺的可靠性。

摘要： 为了研究紫外皮秒激光在均热板基板表面刻蚀微沟槽后,不同激光工艺参数对微沟槽表面疏水性的影响规律,采用Cassie-Baxter模型进行了理论分析,并利用单因素实验法,改变激光扫描速率、激光扫描间距、光斑横向重叠次数进行实验验证。结果表明,降低固-液区域面积占比、宽度或缩短沟槽间距,均可以提升微沟槽表面的疏水性能;造成微沟槽表面疏水的主要原因是其内部的微纳结构以及加工时吸附的疏水性化学基团;当激光扫描速率为125mm/s、激光扫描间距为200μm、光斑横向重叠次数为2次时,紫外皮秒激光刻蚀出的微沟槽表面的疏水性最强。该研究为增强均热板冷凝端的疏水性能、提升其整体循环效率提供了参考。

摘要： 近年来,许多国家相继发行了含有聚碳酸酯(PC)资料页的新版护照。与纸张相比,PC材料有着诸多优势,不仅具有更好的加工适性、耐抗性,还能沿用传统防伪技术,更能够实现层压图文、激光刻蚀、透明视窗等独特的防伪技术。PC材料在护照上的使用已经成为主流趋势,如何在PC材料上实现更好的防伪手段将是护照研发的重要内容。

摘要： 针对ITO玻璃表面线路激光刻蚀中因定位问题玻璃工件产生的微变形,采用微孔陶瓷对工件进行微气流阵列加压,确保高精度的激光刻蚀加工。分析不同加工工艺下的微气流压力分布,探究气流压力和刻蚀间隙对ITO玻璃刻蚀表面平面度的作用机制。结果表明:经微孔气流加压后,工件在气体流动的区域受到正压力,加工区域的压力分布较为均匀。由此可知,工件表面受到均布气压有利于刻蚀表面的定位,但过大的压力会导致工件微变形。实验结果显示:在合适的压力下,微孔气流加压可使得平面度低至8μm,当压力在0.16-0.2 kPa,刻蚀间隙在1.8-1.9 mm时,工件表面压力为13.2-14.4 Pa,此时平面度最好,微米尺度的刻蚀线路清晰,不产生破损。最后,对微孔气流加压的ITO玻璃进行激光刻蚀加工,可得到8μm以及25μm的表面微细线路,解决了通常无微孔气流加压的刻蚀工艺导致局部断点或变形线路引起产品短路或开路等问题。

摘要： 使用355 nm全固态紫外(UV)激光对碳化硅材料进行直写刻蚀,实验过程采取单一变量的原则4种影响因子对刻蚀结果产生的影响。结果表明:能量密度过大或过小都会增加刻蚀通道崩边尺寸,刻蚀深度随能量密度增大而增大;重复频率的增大会加重崩边现象,同时会导致刻蚀深度的减小;扫描速度越大刻蚀通道的崩边尺寸越大,刻蚀深度越小;扫描次数的增加在增大刻蚀深度的同时会使通道侧壁形成一定的锥度。通过对实验数据的对比分析最终得出激光刻蚀碳化硅的最优参数,对今后进行激光加工碳化硅材料的参数选取具有一定参考价值。

摘要： 针对飞行器频率选择表面(Frequency Selective Surface,FSS)热环境严酷、结合面不可展等约束带来的严峻挑战,开展了耐高温FSS的设计及激光刻蚀技术的研究。以飞行器天线罩常用的聚酰亚胺体系为基材,设计了一种单层宽带FSS结构,揭示了金属镀膜的选材与厚度对FSS性能的影响规律,比较了聚酰亚胺基材不同表面处理工艺的效果,分析了FSS激光刻蚀中各参量优化的理论依据,通过平板样件的加工与试验,进一步修正了基于激光刻蚀法的FSS设计参数。在此基础上,设定了一种椭圆锥外形的异形天线罩结构,在其外表面开展了三维曲面上FSS单元排布设计、FSS加工与试验验证研究。试验证明,三维样件表面状态光滑平整,在接近FSS法向入射的角度,三维样件透波率和带宽基本与仿真结果一致,天线罩轴向FSS截断处透波率稍有降低,总体实现了3GHz带宽内透波率超过80%。

摘要： 为了对表面镀有纳米级别金属层的聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜上进行金属图案化处理,利用光刻技术,分别通过湿法腐蚀和干法刻蚀两种途径.实施了不同配方的湿法腐蚀、离子束刻蚀(IBE)、激光刻蚀对表层覆盖Ni-Cu的PVDF薄膜进行尝试.结果 发现:激光刻蚀可以得到宽度为100 μm,厚度为450 nm,长度为600 μm的曲梁电极图案.

摘要： 吸液芯结构是微热管的重要组成部分,其对微热管传热性能起到关键作用.目前,随着微热管的微型化,多种新型吸液芯结构相继提出,有效的拓宽微热管的应用领域.激光刻蚀法已成为制备微热管微型沟槽的高效可行法.借助激光刻蚀技术优势制备出微热管复合沟槽吸液芯,分析复合沟槽结构具有良好的表面质量;然后建立复合沟槽吸液芯毛细压力轴向分布数学模型,得出微热管内毛细压力沿轴向分布情况,证明复合沟槽提供较大的毛细压力,从而具有优异的传热性能.

摘要： 为保证塑封器件破坏性物理分析和失效分析等可靠性评估工作的有效开展,本文基于激光刻蚀结合化学湿法开封技术中安全责任的重要性,探讨该技术环节中存在的安全风险,就如何从人、机、料、法、环等方面进行风险管控进行重点研究.结果表明:通过完善的安全管理,能够显著降低危险的发生概率,提高开封环节的安全系数.

摘要： 为避免镀镍覆铜基板上近距离元器件焊接过程中出现桥连、偏转等缺陷,提高焊接可靠性,采用激光光束在镍层上刻蚀的方法进行阻焊工艺开发.通过正交试验对激光参数进行选取和优化,结果表明,当激光脉冲电流为14 A、调制频率为5000 Hz、激光步距为0.4时,可以获得较好的阻焊效果,进一步对阻焊图形进行设计优化,最终确定阻焊区宽度小于100 μm,大大提升了元器件贴装及焊接密度.

摘要： 本文探讨在修理中应用激光刻蚀方法在多层漆面上实现标记字符的复刻.刻蚀加工由计算机自动控制,可以长时间连续工作,实现复杂标记字符的加工,通过采用不同能量的激光束实现对漆层刻蚀去除的控制.

摘要： 基于ABAQUS软件对低压射流辅助激光刻蚀加工后的槽体截面形状进行了数值模拟,研究了激光输入电流、脉冲宽度、重复频率对截面深度以及宽度的影响,并分析了相关变化原因.结果显示:随着激光脉冲宽度增加,刻蚀截面宽度与深度都不断增加;随着激光输入电流的增大,截面深度先增加,随后变化较小,而宽度方向变化不大;随着重复频率的增加,刻蚀截面的深度与宽度都先不断增加,而后基本保持不变.利用低压射流辅助激光加工装置进行了试验验证,结果与数值模拟较为一致.

摘要： 为研究SiC陶瓷中SiC含量对激光刻蚀质量的影响,以SiC陶瓷作为实验材料,并与Al2O3陶瓷、SiC复相陶瓷相比,分析激光直接刻蚀和水射流激光复合刻蚀的形貌差异,并利用X射线能谱分析仪对刻蚀表面的微小区域进行成分分析,研究SiC陶瓷刻蚀过程中的蚀除机制.结果表明:复合刻蚀的表面形貌明显好于直接刻蚀,且SiC含量越高,表面形貌越好;直接刻蚀时,SiC复相陶瓷中Al元素含量有所增加,Si元素含量相对减少,SiC陶瓷发生剧烈的碳化现象,C元素含量有所增加,复合刻蚀时,SiC复相陶瓷中Al元素含量有所减少,Si元素含量相对增加,SiC陶瓷在水射流作用下弱化了碳化现象,C元素含量有所减少.

摘要： 激光刻蚀技术用于卫星天线的制造,用于刻蚀由不同材料体系组成天线表面的金属薄膜,由于金属、有机材料各层对激光的热和光物理特性存在很大的差异,因而每层材料的物理特性对激光刻蚀的结果产生影响.基于在多层材料表面金属薄膜激光刻蚀的物理机制,通过讨论和分析实验结果,发现激光刻蚀的物理过程主要受有机材料和金属薄膜之间界面效应的影响,为获得锐利和对有机材料无损伤的刻蚀效果,在金属薄膜和有机材料之间增加厚度约为200nm的Cr过渡层可提高激光刻蚀的质量,而界面处的有机过渡层应选择对刻蚀激光波长高透过率的材料.

摘要： 采用倍频Nd.YVO4脉冲激光，对具有Ag/ZnO背反层的柔性非晶硅薄膜太阳电池非晶硅层进行激光刻蚀研究。在激光刻蚀非晶硅的实验中，通过改变激光功率、激光重复频率、扫描速度、聚焦位置等参数，优化激光刻蚀工艺，得到线宽60μ，周围无明显尖峰(3D激光扫描显微镜)，满足薄膜太阳电池工艺要求的刻蚀线。

摘要： 激光刻蚀(划线)工艺是非晶硅、微晶硅等薄膜光伏电池整个制造工艺中具有决定性意义的一道工艺，激光刻蚀的水平直接影响了电池的转换效率，本文主要就TCO透明导电膜、硅层、背电极(ZnO/Al/Ag)等激光刻蚀工艺的先进技术和方法进行对比，并重点介绍了自动化激光刻蚀设备的发展。

摘要： 近年来镁合金越来越多地应用于电子产品,其商标、文字等特征代表图案可通过激光刻蚀实现.激光刻蚀打标有速度快、精度高、适应性广的特点,但激光刻蚀的效果与激光参数的关系还缺乏定量化的研究.本论文利用光纤红外激光在镁合金表面刻蚀打标,研究工艺参数对表面形貌等的影响.针对AZ31镁合金使用激光打标,在不同参数下做了大量试验来确定窗口参数,通过检测深浅不一的表面形貌,重点分析激光功率、扫描速度、光点直径对表面刻蚀的影响.

摘要： 由于表面改性的需要,陶瓷基体对热喷涂涂层方案的需求也在日益增加.根据基体结构和性能的不同,需要开发特殊的基体相关的制备概念.本文展示一些在烧结氮化硅和AIN陶瓷上沉积涂层的概念.使用传统的喷砂工艺处理的基体近表面区域粗糙度低并会带来损害.作为替代方法,激光刻蚀被用来改变陶瓷基体的热喷涂表面特性.通过选择适当的激光刻蚀参数和喷涂方法,成功地制备了与陶瓷基体具有良好结合性能的大气等离子喷涂(APS)和悬浮液超音速火焰喷涂(suspension-HVOF Al203)涂层.

摘要： 本文主要研究聚酰亚胺(PI)衬底柔性非晶硅(a-Si)薄膜太阳电池内联组件结构设计及内联组件制备的关键技术：深度选择性激光刻蚀.文中所采用的内联结构,首先是卷对卷沉积a-Si 太阳电池的各层材料,随后采用激光刻蚀等工艺实现组件的内联.深度选择性激光刻蚀(P1、P2)分别采用1064nm和532nm的调Q 纳秒激光,激光刻蚀槽P1和P2 分别填充绝缘浆料和导电浆料.目前,采用上述结构及工艺制备的柔性a-Si 薄膜太阳电池六节内联组件效率达4.57%(AM0).

摘要： 本文结合实际生产介绍了激光技术在粉末冶金领域的应用,以焊接和表面刻蚀为例，介绍粉末冶金制品应用激光技术时的一些问题点和解决方案。

摘要： 本申请提供一种酸抛光刻蚀机的改造方法、采用酸抛光刻蚀机去除硅片表面磷硅玻璃的方法及设备，属于硅片加工工艺领域。酸抛光刻蚀机的改造方法包括将螺牙滚轮更换为粘液滚轮，并在刻蚀槽内设置用于与磷硅玻璃反应的药液，且粘液滚轮在高度方向的1/3～2/3浸入刻蚀槽的药液中。粘液滚轮包括多个间隔布置的环形槽，环形槽的深度为0.5～1mm。本申请的酸抛光刻蚀机能够在原酸抛光工艺升级为碱抛光工艺后，将原酸抛光刻蚀机改造成为能够用于去除硅片的磷硅玻璃，从而与新的碱抛光刻蚀机配合使用，减少购买新的用于去除硅片的磷硅玻璃的设备，减少技改成本。

摘要： 本发明公开了一种激光刻蚀剂、激光刻蚀聚碳酸酯及其制备方法和应用。本发明的激光刻蚀剂，由锑掺杂氧化锡与激光打标塑料助剂组成，所述锑掺杂氧化锡与所述激光打标塑料助剂的质量比为(0.5‑10):(0.5‑10)，所述激光打标塑料助剂为Iriotec®8825与Iriotec®8820的混合物。本发明的激光刻蚀剂制成的激光刻蚀聚碳酸酯用于证卡刻蚀时，刻饰后图像更加清晰，分辨率高，广泛适用于各种安全卡例如身份证及多种信用卡的刻蚀，环保且具有永不褪色的特点。

摘要： 本发明公开一种基于激光刻蚀设备的卡片激光刻蚀打印方法，包括：将多轴转向定位组件的进卡通道与传输组件的通道对齐；将卡片从传输组件传送到多轴转向定位组件的指定位置上；基于光栅的角度，多轴转向定位组件将卡片沿短边轴线以光栅角度相同的角度转动，同时根据光栅角度和光栅在卡片上的位置使卡片向上运动，以使激光聚焦在光栅所在的位置，运动到位后开启激光进行激光刻蚀打印，完成可变激光图像打印；基于光栅的角度，多轴转向定位组件将卡片沿长边轴线以光栅角度相同的角度转动，同时根据光栅角度和光栅在卡片上的位置使卡片向上运动，以使激光聚焦在光栅所在的位置，运动到位后开启激光进行激光刻蚀打印，完成可变激光图像打印。

摘要： 本发明公开了一种激光刻蚀剂、激光刻蚀聚碳酸酯及其制备方法和应用。本发明的激光刻蚀剂，由锑掺杂氧化锡与激光打标塑料助剂组成，所述锑掺杂氧化锡与所述激光打标塑料助剂的质量比为(0.5‑10):(0.5‑10)，所述激光打标塑料助剂为Iriotec®8825与Iriotec®8820的混合物。本发明的激光刻蚀剂制成的激光刻蚀聚碳酸酯用于证卡刻蚀时，刻饰后图像更加清晰，分辨率高，广泛适用于各种安全卡例如身份证及多种信用卡的刻蚀，环保且具有永不褪色的特点。

摘要： 本发明属于激光刻蚀技术领域，公开了一种面向激光刻蚀加工的图形分割方法、激光刻蚀控制系统，计算贴图点位法向量；二维矢量贴图缠绕于三维网格模型表面，计算每一个二维矢量贴图的变换矩阵，基于几何变换的原理将贴图缠绕于三维网格模型表面；扫描振镜的扫描范围与最大焦深确定搜索范围，获取每个加工区域关联的贴图图案；对于一个加工区域，根据中心点的位置，确定分割平面，将加工区域边界线与关联图案投影到分割平面上，对图案进行分割；根据反投影坐标系，生成加工方需要的可加工文件。本发明不仅可以有效的减少传统方法中扫描振镜的移动次数，提高实际加工的效率；而且能够高效的分割出每个加工区域的图案，同时图案的精度得到保证。

摘要： 托卡马克第一壁材料激光刻蚀系统及刻蚀深度标定方法，涉及核聚变装置技术领域。托卡马克第一壁材料激光刻蚀系统，包括真空装置、刻蚀装置和观测装置；真空装置包括真空气氛腔室、真空泵组和真空规；刻蚀装置包括刻蚀平台、光纤激光器和主控电脑。托卡马克第一壁材料刻蚀深度标定方法，步骤如下：预处理；离子注入；获取烧蚀前的13C离子浓度分布情况；激光刻蚀；计算激光刻蚀深度；获取激光刻蚀后的13C离子浓度分布情况；建立13C离子浓度与刻蚀深度对应关系的数据库。本发明将示踪元素13C用于托卡马克第一壁材料腐蚀深度的标定，为在线测量托卡马克第一壁材料的腐蚀深度提供了切实可行的方案。

摘要： 一种基于氢离子刻蚀反应辅助激光刻蚀的金刚石微加工方法，包括：对金刚石试样表面进行预处理，去除表面杂质；将激光光束聚焦在预处理后的金刚石试样表面，进行激光辐照处理，将金刚石试样表层金刚石成分诱变为石墨化成分；对经过激光辐照处理的金刚石试样进行氢离子刻蚀反应，将金刚石试样表面经过激光辐照诱变产生的石墨化成分选择性去除，实现对金刚石试样的微加工。本发明通过采用激光对金刚石试件表面进行石墨化诱变，随后采用氢离子刻蚀选择性去除金刚石试件表面激光诱变的石墨化成分，避免了常规激光刻蚀过程中金刚石表面出现杂质残留和破碎崩边等损伤，显著提升了金刚石微加工的质量和精度。

摘要： 本发明提供了一种激光刻蚀装置及其刻蚀方法，该装置包括输送台，在第一输送带上部依次排列的激光器、摄像部件、氮气清洗部和清洗液清洗部，以及推送部件。本发明利用控制器进行一体化控制，实现自动化；可以实现刻蚀之前的工件清洗和刻蚀之后的工件清洗的双重目的，提高作业效率。

摘要： 本实用新型公开了一种错齿曲轴链轮的激光刻蚀夹具及激光刻蚀设备，包括：垫板，垫板的中心设置有安装孔；基座，连接于垫板，基座的底面中心设置有配合安装孔的安装柱，基座的顶面中心设置有定位柱，定位柱与曲轴链轮的内孔匹配，定位柱的上端连接有导向帽头，导向帽头为塑料制件，导向帽头的上端面设置有倒圆角；定位板，连接于基座，定位板设置有内齿槽，内齿槽与轮齿下套匹配，内齿槽围绕定位柱。进行激光刻蚀时，将曲轴链轮装入激光刻蚀夹具，曲轴链轮必须方向正确才能装入，方向错误则不能装入内齿槽，导致曲轴链轮不能定位，提醒工人曲轴链轮的方向错误，需要调整，确保曲轴链轮两端面的激光刻蚀正确，防止出现废品，提高经济效益。

摘要： 本实用新型提供了一种激光刻蚀装置和激光加工系统，其中，激光刻蚀装置包括聚焦场镜、反射镜组、若干振镜以及若干激光发生器；所述反射镜组设于所述聚焦场镜上方；若干所述振镜围设于所述反射镜组四周；每一所述激光发生器设于一所述振镜的背离所述反射镜组的一侧，每一所述激光发生器的出射光经过一所述振镜、并经过所述反射镜组和所述聚焦场镜而射出。本实用新型的技术方案提供了一种结构较为简化的激光刻蚀装置。