空气阻尼对微谐振器品质因子及其传输函数的影响

章彬; 刘清惓; 黄庆安

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空气阻尼对微谐振器品质因子及其传输函数的影响

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振动方向平行于衬底的梳状微谐振器的品质因子在高真空下可以高达105以上.常压下,受空气阻尼影响,品质因子跌落到102左右甚至更小.为了设计时能对谐振器的品质因子有一个较为精确的估计,本文首先利用纳维尔-斯托克斯近似方法和库特近似方法对常压下的横向振动谐振器的阻尼功耗进行了估算.同时谐振器作为电路元件,阻尼等效于电路中的电阻,直接影响器件的传输函数,因此本文又建立了该种谐振器的集总参数网络,研究了阻尼对传输函数影响.其结果对横向振动微谐振器的设计有一定意义.

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来源
《电子学报》 |2002年第6期|827-830|共4页
作者
章彬; 刘清惓; 黄庆安;
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作者单位

东南大学微电子中心,江苏南京,210096;

东南大学微电子中心,江苏南京,210096;

东南大学微电子中心,江苏南京,210096;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;滤波技术、滤波器;粘性流体力学;
关键词
微机械谐振器; 品质因子; 功耗; 粘滞阻尼;

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