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静电驱动硅一体化微机械谐振器

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本文利用硅硅直接键合技术引入了一种完全采用单晶硅制作的静电激励的微机械谐振器，文中对静电激励力进行了分析，实测表明该谐振器频率为５．８６ｋＨｚ，品质因数在１０Ｐａ的低真空了即可达６００以上。

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来源
《电子学报》 |1995年第8期|20|共1页
作者
金仲和;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械振荡器;
关键词
静电力; 谐振器; 微机械; 一体化; 频率响应; 硅;

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