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单晶硅各向异性力学性能纳米压痕实验研究

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应用纳米原位压痕仪对单晶硅(100),(110),(111)晶面进行纳米压痕实验,对材料的弹性模量和硬度进行考察.实验结果表明:单晶硅(111)晶面相对于其它两个晶面具有较小的弹性模量和硬度值.通过单晶硅不同晶面原子结构分析,认为晶面原子层的间距分布差异是各晶面弹性模量差异的主要原因.

著录项

来源
《航空精密制造技术》 |2008年第2期|9-12|共4页
作者
李德刚; 梁迎春; 白清顺;
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作者单位

哈尔滨工业大学,机电工程学院,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,机电工程学院,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,机电工程学院,哈尔滨,150001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类元素半导体;
关键词
单晶硅; 纳米压痕; 弹性模量; 硬度; 各向异性;

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