纳米压痕

摘要： 作为反应堆的核心,UO_(2)陶瓷燃料的力学性能与其安全可靠性、经济性紧密相关,一直是国内外的研究热点。当前学者已针对未辐照UO_(2)燃料开展了大量研究,结果表明,UO_(2)燃料的力学性能受晶粒尺寸、晶体取向、气孔率、O/U比、应变量、掺杂相类型及掺杂量等多种因素影响,并且还与测试温度密切相关,但这些影响因素对其力学性能的耦合作用尚不清楚。近年来国外研究者还通过先进的纳米力学测试技术,对辐照后的UO_(2)陶瓷燃料进行了研究,为其设计制备和寿期内性能预测提供了关键数据支撑。首先介绍了UO_(2)微观力学性能研究手段,并对未辐照以及辐照后UO_(2)陶瓷燃料微观力学性能研究进展进行了综述,总结了现有的不足并提出了后续研究的建议:在服役温度以及事故温度下对不同燃耗的UO_(2)燃料开展研究,获得实际工况和事故工况下UO_(2)燃料微观力学性能随燃耗的演变规律及机制,为燃料元件持续优化改进提供支撑。

摘要： 为了降低生产高性能预制建材制品过程中二氧化碳的排放,用工业原料石灰石和砂岩在1275°C煅烧制备了一种低钙固碳胶凝材料,研究了胶砂比(1∶0、1∶1、1∶2、1∶3)对低钙固碳胶凝材料碳化程度及砂浆早期碳化硬化性能的影响规律,并通过XRD、TG-DTA、FT-IR、SEM、纳米压痕、压汞仪等研究了碳化低钙固碳胶凝材料浆体与硅质河砂骨料的界面矿物组成、孔隙率及微观力学性能演变规律。结果表明,随着胶砂比的降低,固碳胶凝材料的碳化程度显著提高;而胶砂比为1∶1时砂浆的抗压强度最高,碳化养护24 h抗压强度达到46.9 MPa;继续降低胶砂比,砂浆的碳化硬化性能下降,可能与碳酸钙晶体在界面过渡区的富集有关。

摘要： 采用气雾化法制备预合金粉末,通过选区激光熔化(selective laser melting,SLM)制备Al_(x)CoCrFeNi(x=0.3,0.5,0.7,1.0)高熵合金。通过X射线衍射仪、扫描电镜以及纳米压痕实验,综合分析Al_(x)CoCrFeNi的物相、微观组织、硬度、杨氏模量及蠕变曲线,探讨Al含量对Al_(x)CoCrFeNi显微组织及纳米压痕的影响。结果表明:Al含量对物相组织有显著影响,其中Al_(0.3)CoCrFeNi与Al_(0.5)CoCrFeNi为FCC结构,Al_(0.7)CoCrFeNi和Al_(1.0)CoCrFeNi为BCC/B2结构。Al_(0.3)CoCrFeNi和Al_(0.5)CoCrFeNi主要由等轴晶组成,Al_(0.7)CoCrFeNi和Al_(1.0)CoCrFeNi主要由柱状晶组成。随Al含量增加,孔隙及裂纹等缺陷增加。在Al_(0.3)CoCrFeNi和Al_(0.5)CoCrFeNi中没有观察到明显的熔池形貌。随Al含量增加,样品残余应力增加。随Al含量增加,硬度增加,由Al_(0.3)CoCrFeNi的447HV增加至Al_(1.0)CoCrFeNi的567HV。Al_(0.3)CoCrFeNi杨氏模量约为273 GPa,Al_(0.5)CoCrFeNi约为233 GPa,Al_(0.7)CoCrFeNi和Al_(1.0)CoCrFeNi杨氏模量相近,分别为240 GPa和242 GPa,硬度与杨氏模量的变化主要与组织及物相有关。与传统蠕变曲线不同,Al_(x)CoCrFeNi的纳米压痕蠕变曲线只包括瞬时蠕变和稳态蠕变两个阶段,其蠕变机制主要为位错蠕变,其中Al_(0.7)CoCrFeNi具有最好的抗蠕变性能。Al_(0.3)CoCrFeNi具有最好的打印成形性,其屈服强度为702 MPa,伸长率为27.5%。

摘要： 以我国主要用材树种日本落叶松木材为研究对象,采用物理改性方法真空热处理技术对其材质进行改良。利用场发射扫描电子显微镜和傅里叶变换红外成像显微镜研究不同热处理条件(160~240°C温度范围,处理4 h)下落叶松木材晚材管胞细胞壁形态、化学组分结构和分布的变化规律,并结合纳米压痕测试系统研究热处理木材细胞壁力学性能变化趋势。结果表明:木材热处理过程中,随着热处理温度的升高,晚材管胞细胞壁出现裂纹并增加;半纤维素发生降解,细胞壁红外成像中半纤维素相对高浓度分布区域逐渐减少,木质素高浓度分布区域呈现先增加后降低的趋势,表明该过程中木质素发生了热解并进行了重新分布。木材细胞壁压痕弹性模量和硬度随着真空热处理温度的增加呈先增大后降低的趋势,其中当热处理温度为200°C时,压痕弹性模量和硬度相比素材分别增大54.57%和45.69%,达到最大值,该变化规律与木材细胞壁中木质素分布变化趋势相吻合。以上研究结果有助于深入理解真空热处理木材性能的变化,为真空热处理改性木材工艺优化提供理论依据。

摘要： 采用非自耗电弧熔炉法制备了具有不同Dy含量的Ti-22Nb-xDy(x=0,0.5,1.0,2.0 at.%)三元记忆合金,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、显微硬度仪与纳米压痕仪研究了稀土Dy掺杂对合金显微组织结构与室温蠕变行为的影响规律.研究结果表明,稀土元素Dy能够促进β母相向α″马氏体相转变.Dy添加使Ti-Nb-Dy合金沿晶界和基体产生富Dy析出相,随着Dy含量增加,富Dy相的尺寸和数量增多,合金晶粒尺寸减小.与Ti-22Nb二元合金相比,Ti-22Nb-(0.5~2)Dy合金的弹性模量减小、显微硬度增大、蠕变应力指数增大,合金的抗蠕变性得到改善.

摘要： 为提升机械零件表面涂层的防护效用,结合中熵合金的独特设计理念,采用等离子体增强磁控溅射(PEMS)技术在316L不锈钢表面沉积(TiAlSi)N涂层。使用X射线能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)分析涂层的化学成分、晶体结构、微观形貌和表面粗糙度。使用纳米划痕/压痕仪测试涂层的结合强度、硬度和弹性模量。EDS分析结果表明(TiAlSi)N为中熵陶瓷涂层。(TiAlSi)N涂层为非晶态,涂层表面平整致密,并且具有良好的力学性能,其结合强度、硬度和弹性模量分别约为25 N、21 GPa和225 GPa。试验结果可为未来深入研究该类涂层体系提供有价值的数据参考。

摘要： 超声滚压可以使镁合金表面纳米化,从而影响表层的力学性能。研究多道次超声滚压AZ31B镁合金表层力学性能,可以为镁合金超声滚压仿真分析提供依据。本文通过车削和多道次超声滚压对AZ31B镁合金棒进行表面处理,采用白光干涉ZeGageTM Plus光学轮廓仪对车削和超声滚压后试样的表面形貌进行观测,通过纳米压痕仪测定试样表层的纳米硬度和弹性模量,并获得载荷-位移曲线。结果表明,经3道次超声滚压加工后,AZ31B镁合金表面粗糙度由车削后的0.568um降低至0.192um,下降了66.2%;相同的加载方式下,越接近超声滚压表面,纳米压痕深度越浅;在距离表面300μm深度内,纳米硬度得到明显提升,且越接近超声滚压表面,纳米硬度越大;在距离表面200μm深度内,弹性模量明显增大,说明3道次超声滚压对AZ31B镁合金表层纳米力学性能的显著影响层深度达到200μm。多道次超声滚压提高了材料表层的纳米硬度和弹性模量,起到了表面强化的作用。

摘要： 在加载速率500~6000 uN/s和峰值载荷4000~12000 uN的条件下进行纳米压痕蠕变实验,研究DD407镍基单晶高温合金在室温下的蠕变行为。结果表明:DD407镍基单晶高温合金具有良好的蠕变抗力性能,但其蠕变性能对加载速率和峰值载荷敏感。依据Findley模型,得到拟合的蠕变参数随着加载速率和峰值载荷的增加而显著增加,并通过计算蠕变应力指数得到合金的蠕变机理由位错控制。此外,在纳米压痕蠕变实验中发现DD407合金的硬度和模量随着加载速率和峰值载荷的增加而降低,并通过无量纲分析得到加载速率对蠕变性能的影响大于峰值载荷对蠕变性能的影响。

摘要： 位错是金属塑性变形普遍形式,对其可动位错演化特性与规律探寻并充分利用,将在金属强韧化提升中有着潜在基础前瞻性研究价值.本文基于分子动力学法对金属Al塑性变形的可动位错迁演特性展开研究,洞悉纳米压痕诱导的可动位错与孪晶界面间作用规律,揭示出金属强化微观机制,并分析单层孪晶界高度与多层孪晶界层间距对可动位错迁演、位错密度、硬度、黏着效应的影响.研究发现:高速变形下的金属非晶产生和密排六方结构的出现会协同主导Al基塑性变形,而孪晶界会阻碍可动位错滑移、诱导可动位错缠绕及交滑移产生,在金属承载提升中扮演了位错墙和诱导位错胞形成的微观作用.通过在孪晶界形成钉扎位错和限制位错迁移,在受限域形成高密度局域可动位错,显著强化了金属硬度和韧性,降低了卸载时黏附于探针表面的原子数.结果表明:Al基受载会诱导上表面局部非接触区原子失配斑出现;单层孪晶界高度离基底上表面距离减小时,位错缠绕和交滑移作用越明显,抗黏着效应也随之下降;载荷持续增加会诱驱孪晶界成为位错萌生处与发射源,并伴随塑性环的繁衍增殖.

摘要： 目的探索辐照条件下Ni与Si元素的相互作用对RPV合金中团簇形成演变的影响。方法对PRV合金的三元模型合金Fe-Ni-Si做离子辐照实验,并采用原子探针技术对团簇进行分析,采用纳米压痕技术进行硬度分析。结果纳米压痕的结果表明,材料的硬度随辐照剂量的升高而增大。原子探针结果表明,辐照后材料中产生了Ni-Si溶质团簇,且随着辐照剂量的增加,团簇的数量密度与体积分数都呈现增大趋势。在不同的辐照剂量下,团簇中的Si/Ni不同,随着团簇尺寸的增大,Si/Ni比呈现上升趋势。结论在低剂量时,Ni-Si团簇处于早期独立形核阶段,团簇内的Ni占比较高;高剂量时,Ni-Si团簇的合并生长占主导地位,且主要以大团簇吞并小团簇的方式生长;团簇中Si的质量分数随着团簇的尺寸增加而增大。

摘要： 采用Raman光谱对碳/碳复合材料碳纤维束内沥青碳和粗糙层热解碳的微观结构进行了表征,利用纳米压痕技术对沥青碳和粗糙层热解碳的弹性模量和硬度进行了测试,结合Weibull分布函数对沥青碳和粗糙层热解碳的弹性模量和硬度进行统计分析.沥青碳的石墨微晶长度较大,为7.01±0.63nm;粗糙层热解碳的石墨微晶较小,为5.89±0.09nm.沥青碳和粗糙层热解碳的弹性模量平均值分别为14.92±2.02GPa和12.87±1.35GPa;硬度的平均值分别为0.64±0.14GPa和0.67±0.17GPa.沥青碳和粗糙层热解碳的弹性模量的Weibull分布模数分别为8.60和9.18,弹性模量的特征值分别为15.63GPa和13.40GPa.沥青碳和粗糙层热解碳的纳米压痕行为的差异主要是由两种微观结构中微晶的完整性、择优取向性的差异引起的.

摘要： 在CMP加工过程中,基片上的化学反应产物的材料力学特性则直接决定了机械去除效率的高低.对此,本文使用不同固相催化剂组成芬顿试剂对单晶SiC基片进行了化学反应试验,通过分析反应产物的元素含量以及化学结构,并采用纳米压痕实验检测了化学反应层的力学特性,据此比较了不同固相催化剂的反应效果.

摘要： 非晶合金的非晶态结构使其表现出独特的流变力学行为,对非晶合金的室温流变变形性质进行细致刻画有助于了解非晶合金的微观结构,进而揭示其变形机理.本文通过多级加-卸载模式下的纳米压痕蠕变实验,捕捉到了(La0.5Ce0.5)65Al10Co25非晶合金在各阶段的蠕变变形,揭示了各阶段的变形性质.结果表明,非晶合金的蠕变包含可回复的黏弹性变形和不可回复的黏性流动部分,卸载后的蠕变回复为黏弹性变形部分;在第二次加载至蠕变荷载后,产生的流变变形主要为可回复的黏弹性变形,即二次加载时,材料未发现有明显的黏性流动变形;黏性流动部分的变形呈现非线性的性质,无法用单一的牛顿黏壶进行描述.

摘要： 铀基非晶是一类新型的亚稳合金材料,在核工业和军工领域有广阔的应用前景,为认识其力学性能演化,需系统开展蠕变实验研究.文中针对U65Fe30Al5非晶条带试样,利用纳米压痕测试技术研究了载荷和加载速率对其蠕变行为的影响.结果表明:随着载荷或加载速率的增加,在相同蠕变时间内蠕变位移呈现增大趋势,但当加载速率高于特定阈值(约50mN/s)时该位移保持恒定;随载荷的增加,蠕变应力指数不断变大,而随加载速率的增大该指数呈现减小趋势,并在高于特定阈值时不再变化.与常规晶态合金相比,铀基非晶合金具有更大的应力指数,这可能与材料中具有更多的自由体积相关.该研究为了解铀基非晶合金的蠕变性能提供了重要的基础数据,有利于提升对这类新材料的认识.

摘要： 纳米压痕技术也称深度敏感压痕技术,是最简单的测试材料力学性质的方法之一,在材料科学的各个领域都得到了广泛的应用.有限元法(Finite Element Method,FEM)是求解微分方程的一种非常有效的数值计算方法,用这种方法进行波动数值模拟受到越来越多的重视.本文主要概述有限单元法在纳米压痕技术中的应用及前景.

摘要： 微观研究的背景与意义，基于原子力显微镜的沥青微观结构研究，基于纳米压痕的沥青混合料微观力学性能研究，碳纳米管改性沥青微观研究。

摘要： 骨组织具有优异的力学性能,其较强的韧性源于不同尺度的结构.本文利用AFM对牛密致骨自然形成的表面暴露出的矿化胶原纤维做了微观研究.从高分辨率的AFM图中,可清晰观察到矿化胶原纤维,也能反应出矿物颗粒与胶原的结合形式;基于AFM纳米压痕的力学谱图也很好地显示了矿化胶原纤维所在区域的力学性质分布.本研究对后期原位研究骨基础组分在加载过程中存在的力学机理提供了基础.

摘要： 传统齿科氧化锆全瓷修复体的主要成型制备方法为计算机辅助设计/制造（CAD/CAM）。但是该项技术依赖昂贵的计算机三维扫描建模和切削烧结系统。虽然氧化锆力学性能、口腔适合性、美观性均良好，但因其硬度高而难于铣削加工，所以CAD/CAM技术需要在硬度较低的预烧结氧化锆瓷块上进行切削加工后进行完全烧结。高速切削预烧结氧化锆瓷块会在其表面产生微观裂纹以及引入表面残余应力，后续完全烧结过程中的裂纹增殖和氧化锆晶粒长大会进一步降低其强度。CAD/CAM技术工序复杂且成本昂贵，不利于应用在快速制作高度个性化且形貌复杂的义齿，因此人们迫切需要探索新的途径来低成本快速制备新型纳米氧化锆牙科修复体。电泳沉积方法(Electrophoretic Deposition，EPD)是一种温和的表面薄膜沉积方法避免高温带来的相变和脆裂且设备简单成本低廉的陶瓷制备工艺。最为重要的是电泳沉积技术不受限于基体形状，可以在形貌极其复杂和表面多孔的坯体表面沉积均匀薄膜沉积层。本研究尝试以水基电泳法制备具有同样具有优异力学性能的一次成型氧化锆陶瓷。

摘要： 笔者提出以模具钢为基体，依次镀上一定厚度的高镍磷(Ni-P)超精密车削层、钛(Ti)过渡层、类金刚石碳(DLC)膜保护层，从而在模具钢基体表面形成Ni-P/Ti/DLC复合薄膜，以此来制备模具模芯。其中Ni-P层可通过超精密车削获得高面型精度和低表面粗糙度的光学镜面面型，DLC膜具有高硬度、起保护作用，而Ti层则起提高膜基结合力、降低残余应力的作用。本文在此基础上，以瑞典胜百S136模具钢为基体材料，制备了Ni-P层、Ti层及DLC膜层厚度分别为300um, 0.3um, 2um的复合薄膜，并采用纳米压痕法和拉曼光谱对其承载特性进行了研究，为Ni-P/Ti/DLC复合薄膜的应用及高精度光学模具模芯的制备提供了研究基础。

摘要： 为实现基于纳米级力学测试方法对薄膜材料力学性能的定量检测,本文针对单晶硅和玻璃基底的纳米级厚度Ti薄膜进行了动态载荷测试.并利用AFM、TEM对薄膜进行微观结构表征,曲率法测得了薄膜的残余应力.结果表明:磁控溅射制备的Ti薄膜组织均匀,表面粗糙度小,呈多晶态,单晶硅上的Ti薄膜为hcp结构,玻璃上的Ti薄膜为fcc结构.随薄膜厚度的增加,残余压应力逐渐减小,基底对薄膜弹性模量和硬度的影响也在减小,薄膜结合强度逐渐增加.在动态载荷作用下,疲劳现象容易出现在较薄的薄膜上.

摘要： 眼球微结构纳米压痕实验台及纳米压痕实验的方法，属于生物实验装置及方法领域。其包括有一台体；台体上部设有半球形容置眼球卡环的容置洞，眼球卡环的下半部分坐于容置洞内，眼球卡环分为上下两部分，上下卡环连接处开有用于插入铁栓将眼球卡环连接为一整体的圆孔，眼球卡环四周的内侧设置有可对大小不同的眼球进行加持的弹簧片，台体下部装有磁石。眼球表面滴注生理盐水保湿，将卡环打开后用镊子将眼球放入下卡环，安装卡环后用铁栓固定；将实验台装入纳米压痕仪的卡台上，轻拨卡环，使其在容置洞中转动，通过显微镜定位观察，进行实验。本发明可以防止眼球在实验过程中的错动，对同一眼球表面不同位置进行垂直压痕得到眼球微结构的力学性能。

摘要： 本发明公开一种用于纳米压痕仪的纳米级测量加载单元，包括：柔性铰链；第一立柱和第二立柱，其设置在柔性铰链底面两侧；横梁，其轴向两侧分别与第一立柱和第二立柱固定连接；第一圆形通孔，其设置在横梁中心；滑块，其轴向固定设置在第一立柱的内侧面；导轨，其一侧设置有与滑块配合的凹槽，并与滑块可滑动连接；参考架，其短边外端设置有第二圆形通孔；压套，其同轴设置在所述第二圆形通孔下方；软压环，其为圆环形，且同轴固定设置在远离参考架的所述压套一端；读数头，其固定设置在参考架短边一侧上；压头，其一端与所述柔性铰链底面中心固定连接，另一端同轴伸入所述压套内。本发明公开一种用于纳米压痕仪的纳米级测量加载单元的测量方法。

摘要： 本发明涉及一种纳米压痕结合疲劳载荷诱导Zr基非晶合金纳米晶化的方法，属于非晶合金改性领域。对具有双V缺口的原始试件进行XRD测试，采用高温疲劳测试仪对试件进行拉伸实验，在试件两端施加预拉伸载荷，同时在试件一侧通过压电叠堆施加疲劳载荷直至试件断裂，断裂后试件的XRD图谱显示为馒头状漫射峰，表明疲劳断裂后的试件未发生晶化。对疲劳断裂后的试件进行压痕测试，从压痕形貌图中选一塑性堆积最为严重的压痕对其进行FIB切割制得TEM样品。利用电子衍射图观察距压痕斜面不同距离处的晶化现象，采用TEM明/暗场成像观察非晶合金中纳米晶的析出情况。将拉伸断裂后的试件重复上述步骤并观察其TEM暗场像。

摘要： 本发明公开了基于纳米压痕和纳米划痕的钙化骨力学性能实验方法，属于生物材料微纳米力学测试方法。将关节软骨置于金属试样杯中，通过接触力学判断准则，获得每条划痕过渡区的起始点和结束点位置。以矩形区域左下角顶点为零点，建立包括全部划痕路径的直角坐标系，并将过渡区的起始点和结束点依次连接成线。将计算得到的结构柔度与仪器框架的结构柔度相加得到修正后的框架柔度，重新计算骨与钙化骨弹性模量，获得修正后的骨与钙化骨弹性模量。通过本发明可以有效的判断一定深度下的骨‑钙化骨界面影响区，当压入深度小于划痕深度时，可以有效避免压痕压入在骨‑钙化骨复合相，获得钙化骨的纳米压痕力学性能。

摘要： 本发明提供了一种用于校准纳米压痕仪的高硬度值纳米硬度标准物质。具体而言，该标准物质量块为圆柱体，单个直径1.5cm，高度0.5cm，表面粗糙度RMS约为1.2nm，为纳米WC硬质合金压制而成，属于六方晶系，体心立方结构，硬度值和弹性模量均一(硬度平均值为23.09GPa，弹性模量平均值为543.61GPa)，耐磨性能优异，在强酸强碱环境下不易被腐蚀。该硬质合金是通过高温液相反应，首先制得纳米WC颗粒，然后进行原位包敷稀土晶粒生长抑制剂，再与球形纳米Co共同研磨获得粉体之后，通过压制、成型、煅烧、切割和抛光，得到硬质合金标准样块。所制得的WC‑Co硬质合金硬度标准物质，符合标准物质性质和量值稳定的特征，能够满足纳米压痕仪在高硬度值区间的仪器校准与建立溯源链的需求。

摘要： 本发明涉及微/纳米仪器领域，具体涉及一种纳米压痕加热装置以及相应的纳米压痕测试仪。本发明的散热带末端与扫描电镜(SEM)墙壁连接，形成散热通道，减少了散热系统设计、安装复杂度，提高整个系统工作过程中高温稳定性能，同时本发明用于加热在SEM真空环境中纳米线至800°C，可在短时间内能够将加热平台升温并稳定在在800°C，同时靠近连接部件底部位置温度保持在40°C‑60°C，避免高温影响设置在连接部件上的元器件，有效降低了纳米力学性能测试仪工作过程中热漂移以及元器件使用风险。

摘要： 眼球微结构纳米压痕实验台及纳米压痕实验的方法，属于生物实验装置及方法领域。其包括有一台体；台体上部设有半球形容置眼球卡环的容置洞，眼球卡环的下半部分坐于容置洞内，眼球卡环分为上下两部分，上下卡环连接处开有用于插入铁栓将眼球卡环连接为一整体的圆孔，眼球卡环四周的内侧设置有可对大小不同的眼球进行加持的弹簧片，台体下部装有磁石。眼球表面滴注生理盐水保湿，将卡环打开后用镊子将眼球放入下卡环，安装卡环后用铁栓固定；将实验台装入纳米压痕仪的卡台上，轻拨卡环，使其在容置洞中转动，通过显微镜定位观察，进行实验。本发明可以防止眼球在实验过程中的错动，对同一眼球表面不同位置进行垂直压痕得到眼球微结构的力学性能。

摘要： 本发明涉及一种原位压痕区域的微纳米压痕测试装置及测试方法，实现对压痕测试过程中压痕微区材料的相变与应变过程实现显微拉曼的动态原位测试，具有良好的应用前景；所述的装置包括宏动单元、微动单元、信号检测单元和控制单元，通过宏动单元调整试件相对于透光压头的相对位置；通过微动单元带动透光压头实现对试验样品的精密压入、压出运动；通过信号检测单元检测获取测试过程中压入载荷、压入位移与显微拉曼测试数据，压入位移的获取直接来自透光压头与试件间的运动，消除了由力传感器带来的柔度误差；通过控制单元对宏动单元、微动单元、检测单元进行上位机控制。

摘要： 本发明公开一种用于纳米压痕仪的纳米级测量加载单元，包括：柔性铰链；第一立柱和第二立柱，其设置在柔性铰链底面两侧；横梁，其轴向两侧分别与第一立柱和第二立柱固定连接；第一圆形通孔，其设置在横梁中心；滑块，其轴向固定设置在第一立柱的内侧面；导轨，其一侧设置有与滑块配合的凹槽，并与滑块可滑动连接；参考架，其短边外端设置有第二圆形通孔；压套，其同轴设置在所述第二圆形通孔下方；软压环，其为圆环形，且同轴固定设置在远离参考架的所述压套一端；读数头，其固定设置在参考架短边一侧上；压头，其一端与所述柔性铰链底面中心固定连接，另一端同轴伸入所述压套内。本发明公开一种用于纳米压痕仪的纳米级测量加载单元的测量方法。

摘要： 本实用新型涉及微/纳米仪器领域，具体涉及一种纳米压痕加热装置以及相应的纳米压痕测试仪。本实用新型的散热带末端与扫描电镜(SEM)墙壁连接，形成散热通道，减少了散热系统设计、安装复杂度，提高整个系统工作过程中高温稳定性能，同时本实用新型用于加热在SEM真空环境中纳米线至800°C，可在短时间内能够将加热平台升温并稳定在在800°C，同时靠近连接部件底部位置温度保持在40°C‑60°C，避免高温影响设置在连接部件上的元器件，有效降低了纳米力学性能测试仪工作过程中热漂移以及元器件使用风险。