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基于扫描白光干涉法的接触式轮廓综合测量仪

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摘要

介绍了一种基于白光干涉原理的接触式轮廓测量仪,该仪器可用于滚动轴承内外圈滚道及滚动体轮廓形貌的综合测量,其理论分辨率可达纳米级,垂直和水平测量范围可分别达5 mm和50 mm.重点论述了该轮廓仪测量系统的构成、测量原理,并用实例说明干涉信号数据处理过程及结果的有效性.

著录项

来源
《轴承》 |2006年第12期|26-29|共4页
作者
张玲玲; 谢铁邦;
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作者单位

华中科技大学,机械学院仪器系,湖北,武汉,430074;

华中科技大学,机械学院仪器系,湖北,武汉,430074;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类滚动轴承;几何量计量;
关键词
滚动轴承; 干涉测量; 接触式测量; 数据处理;

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