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钨灯丝扫描电子显微镜

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主要技术与性能指标,分辨率:3 nm@30 kV(SE),6 nm@30 kV(BSE),低真空范围:10-270 Pa主要应用,材料的微观表征、失效分析、半导体检测、生命科学研究、地质勘探、分子筛研究、催化材料研究等,代表性应用成果,油页岩分析研究、催化材料研究、生物材料形貌观测、临床病理检测。

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来源
《中国科学院院刊》 |2023年第s01期|34-34|共1页
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正文语种 chi
中图分类矿床学;
关键词
地质勘探; 微观表征; 扫描电子显微镜; 催化材料; 生命科学研究; 低真空; 油页岩; 应用成果;

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