退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
屈盛; 毛和璜; 韩增华; 汤叶华; 周春兰; 王文静; 张兴旺;
欧贝黎新能源科技股份有限公司;
中国科学院电工研究所;
中国科学院半导体研究所;
晶体硅太阳电池; PECVD氮化硅双层膜; 硅烷氨气比;
机译:PECVD生长的富硅氮化硅薄膜中嵌入的硅纳米晶体光致发光特性的退火温度依赖性
机译:PECVD氮化硅基体中嵌入硅纳米晶体的硅太阳能电池效率提高
机译:快速热退火富硅氮化硅膜中PECVD生长的硅纳米级夹杂物的介电功能
机译:使用因子设计和响应面方法模拟晶体硅太阳能电池的PECVD氮化硅膜的生长
机译:双层非晶硅膜对晶体硅的表面钝化。
机译:PECVD对低温生长的掺硼氢化晶体硅的退火
机译:通过六甲基二硅氮烷的PECVD扫描探针显微镜和碳氮化硅膜的纳米晶体研究
机译:pECVD沉积参数对硅太阳电池表面和体相重组影响的统计分析
机译:具有膜的传感器的生产包括通过LPCVD或PECVD工艺在硅衬底的表面上沉积氮化硅层,以及从衬底的底侧蚀刻凹槽。
机译:使用PECVD技术在薄膜晶体管(TFT)上将氢化的氨基氮化硅薄层用作膜绝缘体
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。