二次离子质谱仪(SIMS)的原理及应用

田春生

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二次离子质谱仪(SIMS)是表面分析中应用最广泛的技术之一.它的特点是高灵敏度(最低可探测浓度为ppm-ppb数量级)和高分辨率(大约10A).由于半导体材料的特殊性,即其电学特性是由微量元素所决定的,在掺杂、沾污等测量分析中SIMS已成为不可替代的手段.本文将对SIMS的原理及应用进行较为详细的介绍.

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来源
《中国集成电路》 |2005年第8期|74-78,73|共6页
作者
田春生;
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作者单位

EVANS分析集团;

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正文语种 chi
中图分类质谱仪;
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