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多孔氧化铝有序膜的制备研究

         

摘要

本文用阳极氧化法分别在硫酸和草酸电解液中成功制备出高度有序、具有纳米级孔洞的氧化铝有序阵列模板.采用饱和HgCl2去除Al基体后,得到典型六方形结构的多孔A12O3有序膜.通过改变氧化电压、氧化时间等条件使模板的孔径、孔深可调、膜厚度可控,并系统研究了对模板有序性、孔径、膜厚度等的影响因素,总结出制备Al2O3有序膜的最佳工艺.

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