多晶硅横向压阻灵敏度的统计分析

赵甘鸣; 鲍敏杭

首页> 中文期刊> 《传感技术学报》 >多晶硅横向压阻灵敏度的统计分析

多晶硅横向压阻灵敏度的统计分析

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文用统计方法对择优生长的多晶硅横向压阻进行了分析:计算了100、110、111、211、221、311、331等低指数晶向择优生长的P型和N型多晶硅横向平均晶粒压阻系数;采用全空间统计平均的方法,计算得到了晶向完全随机的多晶硅横向平均晶粒压阻系数;从欧姆定律和多晶硅晶粒特性出发,推导了多晶硅横向压阻灵敏度的表达式。通过实验测量了多晶硅横向压阻器件的灵敏度及其与角度的关系,证实多晶硅横向压阻灵敏度与器件倾角α符合sin2α的关系。将实验结果与理论分析的结果相比较后,得到了多晶硅的杨氏模量,这些结果表明多晶硅横向压力传感器具有实用价值,并为器件提供了优化的设计方案。

著录项

来源
《传感技术学报》 |1989年第2期|P.1-9|共9页
作者
赵甘鸣; 鲍敏杭;
展开▼
作者单位

[1]复旦大学;

[2]复旦大学;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212-55;
关键词
多晶硅; 压阻; 灵敏度;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 多晶硅纳米薄膜压阻和电学修正特性 [J] . 陆学斌 ,于斌 . 传感技术学报 . 2020,第007期
2. 脉冲激光沉积磷掺杂多晶硅薄膜的压阻性能 [J] . 王思源 ,王宙 ,付传起 . 材料导报 . 2017,第0z2期
3. 脉冲激光沉积磷掺杂多晶硅薄膜的压阻性能 [J] . 王思源 ,王宙 ,付传起 . 材料导报：纳米与新材料专辑 . 2017,第002期
4. 基于负温度系数的多晶硅电阻电热激励/压阻检测微桥谐振器的新型红外探测器 [J] . 韩建强 ,李森林 ,李琰 . 红外与毫米波学报 . 2015,第002期
5. 多晶硅纳米膜压阻超薄微梁加速度敏感结构 [J] . 揣荣岩 ,白羽 ,吴美乐 . 仪表技术与传感器 . 2013,第001期
6. 一种微梁直拉直压高灵敏度高带宽微机械压阻式加速度传感器 [C] . 黄树森 ,李昕欣 ,戈肖鸿 . 第八届敏感元件与传感器学术会议 . 2003
7. 多晶硅电阻电热激励/压阻检测微谐振式加速度计研究 [A] . 李森林 . 2014

多晶硅横向压阻灵敏度的统计分析

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅