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吴锐文; 宋华平; 杨军伟; 屈红霞; 赖晓芳;
广东工业大学物理与光电工程学院;
松山湖材料实验室;
4H-SIC; 研磨; 聚氨酯垫; 表面粗糙度; 去除率; 金刚石磨料;
机译:基于聚氨酯垫定位/复位的离散钢垫的多点成形过程中成型精度研究
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机译:单晶SiC衬底超声辅助单面研磨的实验研究
机译:MgO单晶衬底精密研磨的研究
机译:基于4H-SiC N型外延层和像素Cdznte单晶装置的高分辨率辐射检测器
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机译:有机盐聚集增强发射(AEE):基于单晶研究的结构性质相关性
机译:siC衬底上生长的外延3C-siC,4H-siC和6H-siC薄膜缺陷的研究
机译:用于研磨垫的两包聚氨酯树脂复合物,聚氨酯研磨垫和制造聚氨酯研磨垫的方法
机译:n型4h-SiC单晶基体和n型4h-SiC单晶基体的生产方法
机译:p型4H-SiC单晶的制造方法及p型4H-SiC单晶
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