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卢鹏; 张顺星; 于慧君; 彭倍; 周吴;
电子科技大学机械与电气工程学院;
MEMS; 压力传感器; 膜结构; 有限元; 结构优化;
机译:新型结构MEMS压阻压力传感器的设计与优化
机译:使用TAGUCHI方法设计高灵敏度MEMS压阻颅内压力传感器的设计优化
机译:基于横梁-半岛-膜结构组合的高灵敏线性压阻式压力传感器的设计与优化
机译:具有集成MEMS压力传感器的微通道中结构化粗糙度的设计和制造。
机译:新型高精度结构SOI压阻式压力传感器的设计优化与制作
机译:用于微压测量的新型结构压阻压力传感器的设计优化和制造
机译:用双材料压电mEms器件制作和优化新型太阳能电池
机译:底部封装裸露芯片MEMS压力传感器集成电路封装设计
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