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VHF-PECVD法制备氢化硅薄膜及单结电池

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摘要

利用VHF-PECVD分解硅烷和氢气的混合气体来制备本征微晶硅薄膜。运用拉曼散射和X射线衍射研究了不同硅烷浓度对薄膜的影响。随着硅烷浓度的增加,沉积速率和光敏性增加而晶化率下降。将优化的本征材料应用到pin电池中,得到本征层厚度约为1μm的微晶电池,效率达5.87%。

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来源
《人工晶体学报》 |2005年第6期|1122-1125|共4页
作者
吴志猛; 雷青松; 赵颖; 耿新华; 奚建平;
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作者单位

上海交通大学微纳米科学技术研究院;

南开大学光电子薄膜器件与技术研究所;

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正文语种 chi
中图分类 TN304.055;
关键词
微晶硅; 硅烷浓度; 太阳电池;

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