ECR微波等离子体离子输运的数值模拟

宫野; 宋远红; 温晓军; 邓新绿

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ECR微波等离子体离子输运的数值模拟

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建立了ECR微波等离子体源离子输运的平板和圆柱模型 ,对离子历经的空间区域的输运过程进行了数值研究 .采用MonteCarlo (M C)方法模拟了存在外磁场情况下 ,离子离开放电室后历经中性区、鞘层区、最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程 .考虑了离子与中性粒子的电荷交换碰撞和弹性散射 ,统一处理了中性区和鞘层区电势的衔接 .采用曲线拟合 ,电势自洽迭代方法把中性区和鞘层区衔接起来 ,得到了光滑自洽的电势分布曲线和鞘层区不同位置处的速度分布。

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来源
《计算物理》 |2001年第2期|152-156|共5页
作者
宫野; 宋远红; 温晓军; 邓新绿;
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作者单位

大连理工大学三束材料改性国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类等离子体物理学;数学模拟;
关键词
ECR微波等离子体; 离子输运; 蒙特卡罗方法; 数值模拟;

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