真空阴极弧离子镀类金刚石碳膜Raman光谱研究

李刘合; 武咏琴; 崔旭明; 张海泉; 张彦华; 夏立芳; 朱剑豪

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分别采用带有和不带有弯曲弧磁过滤器的真空阴极弧离子镀方法,在不同镀膜电流以及不同基片偏流下分别制备了类金刚石碳膜,对比了不同结构下类金刚石碳膜的Raman光谱特点。对其Raman光谱的D峰和G峰采用Gaussian-Lorentzion的几率分布进行了分峰,并着重讨论了基片偏流、弯曲磁场等沉积参数对膜结构的影响。结果表明,氩分压对膜结构影响不大,较大的偏流以及弯曲磁场的加入均有利于sp^3杂化碳键的形成。

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来源
《金属学报》 |2004年第2期|220-224|共5页
作者
李刘合; 武咏琴; 崔旭明; 张海泉; 张彦华; 夏立芳; 朱剑豪;
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作者单位

北京航空航天大学机械工程与自动化学院;

哈尔滨工业大学材料学院;

香港城市大学物理与材料科学系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类喷镀法;
关键词
Raman光谱; 类金刚石碳膜; 弯曲弧磁过滤器; 偏流; 真空阴极弧离子镀;

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