真空阴极弧离子镀类金刚石碳（DLC）膜的碳弧稳定性研究

李刘合; 夏立芳

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真空阴极弧离子镀类金刚石碳（DLC）膜的碳弧稳定性研究

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选用氩气、氩气加氢气、氩气加乙炔等气体作为介质，石墨作为靶材进行真空阴极弧离子镀来制备类金刚石碳膜。石墨电弧有其独特的电弧特性曲线，不同气体介质对碳弧特性的影响不同，磁场的大小对电弧的稳定性有很大作用，碳弧下基片偏流随电弧电压的增加而减小，试验得到表面光滑的类金刚石碳（DLC）膜，对膜的表面进行了SEM分析。

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来源
《材料科学与工艺》 |1998年第1期|46-49,53|共5页
作者
李刘合; 夏立芳;
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作者单位

哈尔滨工业大学材料科学与工程学院;

哈尔滨工业大学材料科学与工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类薄膜技术;
关键词
类金刚石碳膜; 真空阴极; 弧离子镀; 碳弧; 稳定性;

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