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电化学扫描探针显微镜在表面微/纳米加工的应用

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摘要

概述了在固 /液界面微 /纳米加工中经常采用的三种电化学扫描探针显微镜 (EC SPM )技术 ,分别讨论了电化学扫描隧道显微镜 (EC STM )、电化学原子力显微镜 (EC AFM )和扫描电化学显微镜 (SECM )在应用于微 /纳米加工时的基本原理和各种方法。

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来源
《微纳电子技术》 |2003年第7期|192-196|共5页
作者
汤儆; 毛秉伟; 田中群;
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作者单位

固体表面物理化学重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类显微镜;
关键词
电化学扫描探针显微镜; 表面微加工; 纳米加工; 电化学; 工作原理; 针尖诱导法;

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