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孙媛; 贾雅娜; 张玉凤; 梁勇; 王文;
中国科学院声学研究所;
中国科学院大学;
声表面波(SAW); 射频磁控溅射; 电流传感器; FeGa; 磁致伸缩;
机译:声表面波化学试剂传感器的声表面波延迟线的设计与制造
机译:新型Sol–Gel src =“ / images / tex / 25988.gif” alt =“ gamma”> inline-formula> -Al 2 sub> O 3 sub>基于薄膜的快速声表面波湿度传感器
机译:基于溶胶-凝胶SiO_2薄膜的高灵敏声表面波湿度传感器:传感特性和机理研究
机译:基于薄膜声表面波传感器阵列和神经网络的混合气体传感器系统
机译:高频声表面波谐振器的设计,仿真和优化及其在化学气体传感器中的应用
机译:基于由表面张力形成的均匀且可控制厚度的氧化石墨烯薄膜的声表面波湿度传感器
机译:声电对涂有电纺ZnO纳米结构薄膜的声表面波传感器的响应的影响
机译:基于Gaas的单片声表面波集成化学微传感器的研制
机译:声表面波分量具有薄膜金属化系统的条状结构,作为指状电极,其条状结构部分或完全被基于钽或硅的薄膜包裹
机译:基于声表面波标签的气体传感器的形成方法
机译:排气外壳中基于声表面波的传感器
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