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朱红波; 周祖源; 何永根; 秦宏志;
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,北京100176;
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海201203;
批处理离子注入机; 锥角效应; 沟道效应; 均匀性;
机译:掺杂鳍片场效应晶体管侧壁:由于大角度入射离子注入而对硅中杂质的保留以及对器件性能的影响
机译:钇预注入对Ti-6-Al-4V合金氮离子注入离子注入行为的影响
机译:使用等离子体浸没离子注入和沉积技术对工业组件进行批处理
机译:分子离子注入外延晶圆的产品特性(5):使用3D原子探针法分析CH3O离子注入晶圆中形成的注入缺陷的吸杂行为-
机译:离子注入用于抑制点腐蚀的应用:铝的钨束注入和304L不锈钢的氮等离子体离子注入。
机译:纳米金刚石中的离子注入:尺寸效应和能量依赖性
机译:掺杂鳍片场效应晶体管侧壁:由于高角度入射离子注入而导致硅中杂质的保留以及对器件性能的影响
机译:外科钛合金的铱离子注入:腐蚀抑制和电荷注入效应。
机译:高角度离子注入抑制SOI MOS器件的浮体效应的方法
机译:离子注入机,离子注入机的角度测定装置及电子束发散测定装置
机译:离子注入器,离子注入器的角度测量装置和束发散测量装置
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