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Nikon光刻机激光步进对准系统研究

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摘要

介绍了Nikon光刻机最常用的对准方式,即激光步进对准(LSA).从基本的光学系统出发,介绍了LSA在Nikon光刻机中的作用,搜索和增强型全局对准(EGA),详细阐述了LSA的工作原理及其对工艺的影响,最后介绍了LSA对准系统的技术指标和作用.

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来源
《电子与封装》 |2019年第8期|44-47|共4页
作者
罗涛;
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作者单位

上海新进芯微电子有限公司;

上海200240;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
对准; LSA; 标记; 指标;

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