对准

摘要： 舰艇作战系统对准工作是一项复杂的系统工程,贯穿于舰艇的设计、制造和服役全寿命周期。在分析目前国内外舰艇作战系统对准方法的基础上,探讨了一种舰艇作战系统动态零位精度对准的方案、可实施性分析及主要研究内容。

摘要： 文艺创作的焦点不妨多多对准那一群隐姓埋名者,对准那独特的个人融入集体的共同奋斗与共同骄傲,这是令人耳目一新的角度。在文艺创作中,神秘而神圣的“两弹一星”事业,向来备受关注,也出现一些满座叫好的佳作,但是高亢的叫好声容易让人忽略一些微弱的不同声音,这些声音往往来自“两弹一星”事业的亲历者,他们最集中的意见是“不像”。

摘要： 针对低精度微惯性测量单元/全球导航卫星系统(IMU/GNSS)松组合导航系统中初始方位难以精确得到和行进间航向容易发散的问题,该文设计了一种双天线辅助的两段连续式对准方法.首先分析了初始方位误差对航向精度的影响;其次,由于GNSS测向系统精度高、无姿态漂移误差的特点,基于双天线基线矢量推导了一种最小二乘算法的测姿模型,进行初始对准;最后针对行进间对准,研究扩展了基于航向差值的1维量测以抑制航向发散.设计试验探讨了双天线基线矢量对初始对准与行进间航向精度的影响,改进方法可以使得初始方位误差优于0.7°,行进间航向能够更准确地被跟踪.针对目标的初始对准与行进间对准,双天线可提供辅助信息,其效果优于单天线IMU/GNSS的组合,且方法计算量适中.

摘要： 导语:在中国共产党成立100周年之际,一名有着70年党龄的老党员,回忆了亲眼见过的伟大领袖毛主席,以及主席“教”他把镜头对准人民的光荣经历。而这位老党员正是根据这一亲切教导,在改革开放初期的摄影界,率先提出了具有划时代意义的主旋律理论。本文就将带领读者重新回到历史现场,和作者一起回顾那些激动人心的历史时刻,以及作者如何一步步成长为摄影理论家的过程。

摘要： 提出了一种使用机器学习的方式实现激光划片机中晶圆精确对准的新算法.算法采用图像传感器采集晶圆图像,经过深度神经网络学习,建立机器学习模型.借助模型泛化过程实现晶圆粗对准.在粗对准基础上,进一步采集晶圆图像,并经过特征提取和拟合形成回归模型,使用该模型实现晶圆细对准.在紫外激光划片机平台上进行了实验,经过粗对准和细对准两步,实现了晶圆的精确对准,取得了良好的效果.

摘要： 自对准技术是陆基机动平台及装备用惯导系统的一项关键技术,其核心在于惯导系统如何在风扰、发动机振动、人员走动等各种干扰下实现快速、高精度对准.针对目前常用的惯性系解析自对准、Kalman滤波估计自对准和惯性系奇异值分解(SVD)自对准等三种方法进行了研究和对比分析,根据三种对准方法各自的实现原理,提出了一种有针对性的抗扰动优化方法,并通过了数学仿真分析和车载试验验证.结果 表明,在车载使用环境下,后两种方法都能获得较为准确的姿态信息,惯性系SVD方法可以达到与Kalman滤波方法相当的对准精度和收敛速度,且无需先验信息即可获得最优解,表现出了较好的工程应用优势.

摘要： 在复杂空间的自动化装配过程中,模块与模块安装位置的安装孔之间需要在孔位对准后用螺丝固定,针对这一问题,设计实现了一种精细对孔方法.该方法从安装孔视频流中定时读取一帧图像,在对图像进行滤波去噪、边缘检测等操作后,采用最小二乘法检测安装孔圆心坐标信息,根据安装孔之间的圆心距判断安装孔是否对准.实验在0.0625 mm的标定精度下,Hough圆变换和最小二乘法的圆心距检测结果分别是0.125 mm和0.06 mm.实验结果表明,在高精度的标定结果下,相比较Hough圆变换,最小二乘法能够更好地检测到安装孔的圆心坐标信息并实现精细对孔,同时表明该精细对孔方法是可行的.

摘要： 水泥窑锻烧所用窑头燃烧器的实际运行位置,对烧成系统的稳定运行至关重要,燃烧器中心位置偏上或偏下均会造成窑内乃至烧成系统运行工况的不稳定,易造成窑内结圈、窑砖使用寿命缩短、系统热耗增加等问题。本文介绍万吨生产线窑头燃烧器的对准调试经验,投产后生产稳定,提供了一种可靠的燃烧器中心位置对准调试方法。

摘要： 水下无线光通信(UWOC)可为水下平台提供高速灵活的通信选择.本文介绍了UWOC的基本链路构成,并指出UWOC系统的优化方案.吸收、散射和湍流都会影响UWOC的性能,深入研究信道特性可以指导发射器、接收器和相关信号处理技术的设计.UWOC性能还能够通过复用技术、单光子探测技术和对准系统等进行优化.功能全面的测试平台可以为UWOC系统提供必要的测试环境,为海试与工业化应用奠定基础.本文期望能为UWOC相关研究者带来帮助.

摘要： 本文结合了单纯形法局部搜索速度快和模拟退火算法全局寻优的特点,提出采用单纯形-模拟退火混合算法(SMSA)进行光纤和光子芯片的自动对准。本文描述了SMSA算法具体操作算子的实现,并将它用于光纤和光子芯片多自由度对准的仿真计算,结果表明混合算法有效地克服了单纯形法易陷入局部极值的缺点,并可以在10步以内找到最佳耦合效率点。

摘要： 介绍缩小投影电子束曝光系统中的标记信号检测及对准的方法与步骤.掩模版上的标记经电子束照射后成像于硅片上,使此标记像扫描硅片上的相应标记,检测由此产生的背散射电子信号确定对准位置.

摘要： 建立了捷联惯导系统支基座对准的误差模型，应用ＰＷＣＳ可观测性分析理论对捷联惯导系统动基座对准过程中的可观测性进行了研究。详细分析了载体的各种运动对系统可观测性的影响，并定性地得出了不同运动对系统可观测性的影响结果。这为研究捷联惯导系统的快速精确对准方法奠定了基础。

摘要： 一种用于加工电气器件(100)的对准的方法，其中，该方法包括：在电气器件(100)上限定至少三个物理对准标记(102)；基于所限定的至少三个物理对准标记(102)确定至少一个虚拟对准标记(104)；以及利用物理对准标记(102)中的至少三个和至少一个虚拟对准标记(104)中的至少一个进行对准以加工电气器件(100)。

摘要： 一种针对加工电气器件(100)进行对准的方法，其中该方法包括：在电气器件(100)上限定多个物理对准标记(102)，基于物理对准标记(102)确定多个虚拟对准标记(104)，并且使用物理对准标记(102)中的至少一部分和/或虚拟对准标记(104)中的至少一部分进行对准，来加工电气器件(100)。

摘要： 本发明提供了一种掩模对准标记组合、掩模对准系统及对准方法、光刻装置，掩模板的X方向和Y方向均包括两组对准标记，X方向上的两组对准标记及Y方向上的两组对准标记均关于掩模板的中心对称设置，在进行掩模对准时，辐射探测组件接收依次经过掩模对准标记组合、投影组件及基准参考标记组合的对准光束，并得到对应每组对准标记的对准位置信息，计算组件可以根据多个所述对准位置信息得到所述基准板的位姿信息，而所述基准板的位姿信息能够更准确的表达所述基准板与所述掩模板的相对位置关系。

摘要： 本发明提供了光对准信号处理方法，包括以下步骤：步骤1、光信号采集模块采集对准测量的多级次光信号信息；步骤2、滤波模块对所述多级次光信号信息处理，并允许a级次光信号信息通过；步骤3、对所述a级次光信号信息进行处理、分析，得到对准信息；其中，所述a级次光信号信息可以为1、3、5……级次光信号信息中的一个或多个。本发明提供的光对准信号处理方法、光栅对准方法以及对准系统能够使得对准精度高。

摘要： 用于将第一功能元件(103)、特别是支架位置准确地定位在第二功能元件(105)、特别是盘上的对准装置，所述功能元件相互可拆卸地固定，在固定状态(FZ)下：(a)至少一个对准元件(115)借助于至少一个固定元件(131)固定地设置在第一功能元件(103)或第二功能元件(105)的壳体凹部(117)中；(b)对准元件(115)以至少一个固定面(119)与第一功能元件(103)连接并且以至少一个贴靠面(121)与第二功能元件(105)的支撑面(123)贴靠；(c)预紧装置(125)在贴靠面(121)与支撑面(123)之间起作用，该预紧装置对相互贴靠的贴靠面(121)和支撑面(123)施加复位到初始位置的力；以及(d)对准元件(115)在侧向沉入地设置在壳体凹部(117)中，贴靠面(121)突出于第一功能元件(103)的下侧(133)，其特征在于，在固定状态(FZ)下相应的固定元件(131)对于实施固定过程和/或调整过程可从外部接近地设置，以及贴靠面(121)设置在对准元件(115)的小块形嵌接件形式的突出的主体部分(169)上。本发明还涉及一种用于这样的对准装置的对准元件和一种对准方法。

摘要： 本申请公开了一种用于图案层对准的对准标记系统及图案层对准方法，系统包括：第一图案层上的第一标记和第二图案层上的第二标记；所述第一标记和所述第二标记能够组合为一个对准标记，以在形成第一图案层和第二图案层之上的第三图案层时，所述第一标记和所述第二标记用于将第三图案层的掩模与所述第一图案层和所述第二图案层对准。在不改变光刻机原有扫描算法基础上，由于第一图案层上的第一标记和第二图案层上的第二标记能够组合为一个完整的对准标记，因此通过一次扫描即可得到两个标记组合形成的完整对准标记在晶圆上的位置，并根据扫描得到的位置进行对准，从而缩短了扫描时间，可以提升晶圆生产效率。

摘要： 本发明提供一种晶圆对准标记、制作方法、晶圆对准装置及晶圆对准方法，该晶圆对准标记能够在正向偏置导通时产生自发射红外光，利用自发射红外光替代外部入射红外光，使用该晶圆对准标记进行对准时，由于红外光直接从晶圆内产生，避免了外部红外光从外延层入射至衬底时产生的光路损耗。该晶圆对准标记应用广泛，可以应用到功率MOS、IGBT、BCD及超结器件等半导体器件的制造工艺中。此外，与晶圆对准标记配合使用的晶圆对准装置结构简单，无需额外配置He‑Ne激光器，还可利用光源提高红外光的信噪比，在现有的光刻设备中具有较高的实用价值。

摘要： 本发明提供了一种测量对准标记或对准标记组件的方法，其中对准标记包括在至少两个方向上延伸的网格特征，该方法包括：使用对准标记或对准标记组件的预期地点来测量对准标记或对准标记组件；确定对准标记或对准标记组件在第一方向上的第一位置；确定对准标记或对准标记组件在第二方向上的第二位置，其中第二位置垂直于第一位置；确定对准标记或对准标记组件在第二方向上的预期地点与所确定的第二位置之间的第二方向扫描偏移；以及使用至少一个校正数据集基于第二方向扫描偏移来校正第一位置，以提供第一校正位置。

摘要： 本申请提供的对准方法、对准装置、对准设备及计算机存储介质，当第二晶圆上的标识点位于对准件的对准间距内，通过获取第一晶圆的第一变形量，根据第一变形量得出第二变形量，控制调整件以第二变形量形变，调整件形变时带动第二晶圆产生目标变形量，使得第二晶圆匹配第一晶圆的形变。在第二晶圆形变时，根据目标变形量得到第二晶圆上标识点的第一运动距离，当第一运动距离大于预设距离时，对准件对准标识点产生偏差或无法对准标识点，因此根据第一运动距离控制对准件相对标识点运动第二距离，以使标识点位于对准件的对准间距内，对准件重新对准标识点，使第二晶圆匹配第一晶圆形变，提升对准件的对准精度与稳定度，进而提升晶圆之间的键合质量。

摘要： 一种对准机构及应用所述对准机构的对准系统,其中对准机构包括依次连接的相机、镜头和光源，所述相机和所述镜头的数量为两个，一组镜头和相机连接构成第一对准件，另一组镜头和相机连接构成第二对准件，第一对准件和第二对准件并列排列，并彼此相接或者具有微小间隙，所述光源邻接所述第一对准件和所述第二对准件的镜头，覆盖所述第一对准件和所述第二对准件镜头的轮廓范围。通过对准机构和应用其的对位系统的使用，可以快速的实现对距离极近的对位点的对准，并且对位点距离适应范围大，极高的提升了对位效率。