Lam Research的先进深硅刻蚀技术

Jay Minami; Alisa Hart

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在一个人们期望即时信息的社会,等上几秒钟,时间似乎变得很长。随着万亿传感器的视野和物联网（I OT）互联网的不断发展,对于＂智能传感器＂出现了明显的需求：即对大量数据进行分类,区分有用信息和噪音,节省珍贵的几秒钟。随着智能传感器的发展,微机电系统（MEMS）、电源装置以及先进封装蚀刻应用需要更精确的控制和更高的生产率。

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来源
《电子工业专用设备》 |2015年第3期|54-54,56|共2页
作者
Jay Minami; Alisa Hart;
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作者单位

泛林研究公司;

弗里蒙特;

加州94538 U.S.A.;

泛林研究公司;

弗里蒙特;

加州94538 U.S.A.;

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