首页> 中文期刊> 《电子工业专用设备》 >毫秒级快速热退火设备市场前景广阔

毫秒级快速热退火设备市场前景广阔

         

摘要

领先的半导体设备供应商Mattson Technology日前宣布,一家全球领先的半导体制造商订购了其Millios(TM)fRTP(flash RTP)毫秒级快速热退火系统。这套针对45nm及以下工艺的设备预计在5月份运抵该客户的300mm工厂内。

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号