MSM探测器的研究综述

莫秋燕; 吴家隐

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光探测器是光纤通信系统的重要组成部分。金属-半导体-金属光电探测器(metal-semicondctor-metal photodetector,MSMPD)具有寄生电容低,响应波长可覆盖光通信1300-1550nm的低损耗窗口波段等优点。在制作工艺方面,MSM-PD结构简单,易于制作,从晶体生长到器件制作的整个过程与FET兼容。因此,MSM-PD已成为光电子集成电路、高速光纤通信系统的高响应光电器件领域的重要研究对象。简要介绍了MSM光探测器的技术概况,分析了MSM-PD的基本原理和性能参数,并论述了MSM探测器的发展趋势。

著录项

来源
《科学技术创新》 |2015年第9期|65-65|共1页
作者
莫秋燕; 吴家隐;
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作者单位

凯里学院物理与电子工程学院;

中国电信股份有限公司广东研究院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光纤通信;
关键词
MSM光探测器; 肖特基; 材料; 暗电流;

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