激光驻波原子透镜的像差分析

陈献忠; 姚汉民; 陈旭南; 石建平; 张春梅

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激光驻波原子透镜的像差分析

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用激光驻波构成的原子透镜对原子束实现nm量级的聚焦,由于原子束的速度扩散、束扩散和原子的波动特性等因素的影响,原子透镜存在像差.建立了两种描述原子透镜的理论模型,用半经典模型分析原子透镜的球差、色差及由原子束的发散角引起的像差,用量子模型分析原子透镜的衍射像差.模拟结果表明原子束的发散角是产生像差的主要因素,衍射像差大于球差和色差.提出了优化实验参数、增加束掩模和利用刻蚀技术三种改善原子光刻实验的方法.

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来源
《强激光与粒子束》 |2004年第10期|1233-1239|共7页
作者
陈献忠; 姚汉民; 陈旭南; 石建平; 张春梅;
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作者单位

中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209;

中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209;

中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209;

中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209;

中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209;

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正文语种 chi
中图分类光具组理论与象差理论;半导体器件制造工艺及设备;
关键词
激光驻波场; 原子透镜; 像差分析; 光刻技术;

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