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真空蒸发CVD法研制超微粒SnO_2薄膜

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用真空反应蒸发,在玻璃、陶瓷及Si-SiO_2衬底上获得晶粒线度为90至0.2μm的超微粒SnO_2薄膜,对薄膜的结构、形貌及其电学性质和光学性质进行了研究。通过控制掺杂,使薄膜具有优良的湿敏特性和气敏特性。

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来源
《内蒙古大学学报：自然科学版》 |1990年第4期|521-526|共6页
作者
李蓉萍; 季秉厚;
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作者单位

内蒙古大学半导体能源实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.21;
关键词
薄膜; SnO2; 超微粒; 真空蒸发; CVD法;

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