(110)取向镍酸镧导电薄膜的制备及性能研究

蔡洪涛; 李幸福; 张新安; 丁玲红; 张伟风

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(110)取向镍酸镧导电薄膜的制备及性能研究

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采用化学溶液法在SiO2/Si(100)衬底上制备了LaNiO3导电薄膜,研究不同热解温度、不同薄膜厚度对LNO薄膜结构和导电性的影响,结果发现薄膜均呈现(110)择优取向生长,尤其是650 (C退火6层的薄膜(110)相对取向度最大为2.05,750°C退火的薄膜电阻率最小,且电阻率随时间和厚度的增加而变大.

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来源
《天中学刊》 |2006年第2期|25-27|共3页
作者
蔡洪涛; 李幸福; 张新安; 丁玲红; 张伟风;
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作者单位

河南大学,河南,开封,475001;

华北水利水电学院,河南,郑州,450011;

华北水利水电学院,河南,郑州,450011;

河南大学,河南,开封,475001;

河南大学,河南,开封,475001;

河南大学,河南,开封,475001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O459;
关键词
LaNiO3; CSD; (110)取向; 电阻率; XRD;

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