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湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液及其制备方法

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摘要

一种湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液，由双氧水、硝酸、氢氟酸和纯净水配制而成，纯净水、双氧水、硝酸、氢氟酸的体积比为：纯净水∶双氧水∶硝酸∶氢氟酸＝1∶2～3∶0.5～1.0∶0.06～0.12。所述腐蚀液的制备方法，按上述配方在常温、常压下将计量好的纯净水与双氧水混合均匀，然后加入计量好的硝酸并混合均匀，继后加入计量好的氢氟酸并混合均匀。所述腐蚀液可干净、彻底地一次性去除SiO

著录项

公开/公告号CN103087718B

专利类型发明专利
公开/公告日2014-12-31

原文格式PDF
申请/专利权人四川大学;
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申请/专利号CN201310015080.3
发明设计人余萍;陈潇洋;樊明雷;朱建国;张小山;
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申请日2013-01-16
分类号
代理机构成都科海专利事务有限责任公司;
代理人黄幼陵
地址 610065 四川省成都市武侯区一环路南一段24号
入库时间 2022-08-23 09:23:01

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-03-06

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C09K 13/08 授权公告日:20141231 终止日期:20170116 申请日:20130116

专利权的终止
2014-12-31

授权

授权
2014-12-31

授权

授权
2013-06-12

实质审查的生效 IPC(主分类):C09K 13/08 申请日:20130116

实质审查的生效
2013-06-12

实质审查的生效 IPC(主分类):C09K 13/08 申请日:20130116

实质审查的生效
2013-05-08

公开

公开
2013-05-08

公开

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