一种高灵敏度的介观压阻微陀螺的设计

罗文华; 曾劲松; 温廷敦

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一种高灵敏度的介观压阻微陀螺的设计

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应用介观压阻效应,研究设计了一种含直拉直压微梁结构的微机械陀螺,并利用共振隧穿薄膜作为该微机械陀螺的敏感元件以提高陀螺的灵敏度.MATLAB软件仿真表明:当施加在GaAs/AlAss共振隧穿薄膜上的偏置电压为0.9 v,薄膜上的应变幅值不大于0.000 575时,薄膜都工作在负阻区域,此时共振隧穿薄膜能较好地检测出微梁上的应变.仿真结果还表明,在共振隧穿薄膜负阻区域的偏压为0.78 V时,压阻效应灵敏度的数量级为4.19×10-10,比室温下硅的最大压阻灵敏度高一个数量级,达到了高灵敏度微机械陀螺设计的目的.

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来源
《中原工学院学报》 |2011年第1期|7-10|共4页
作者
罗文华; 曾劲松; 温廷敦;
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作者单位

郑州大学机械工程学院,郑州,450001;

郑州大学机械工程学院,郑州,450001;

中北大学理学院,太原,030051;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类陀螺仪表;
关键词
微机械陀螺; 介观压阻效应; 共振隧穿; 超晶格;

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