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叠层结构对Cu/In预制膜微观结构的影响

         

摘要

采用超声波-脉冲直流电沉积的方法在钼基底上制备了两种不同叠层结构的Cu/In预制膜:Cu/In多层膜和Cu/In双层膜,经过随后的热处理得到了Cu/In合金膜.通过XRD、SEM等对比研究了这两种Cu/In预制膜热处理前后的表面形貌、成分和相结构特征.结果表明:采用Cu/In多层膜制备的Cu/In合金膜表面更致密、平滑,成分分布更均匀,所用的热处理时间短且显著减少了In元素的挥发损失,更利于薄膜原子比的精确控制.%Two different laminated films,Cu/In multilayer films and Cu/In double layer films were prepared by pulse jet-electrodeposition with continuous ultrasonic wave.The Cu/In alloy precursors were subsequently synthesized by means of heat treatment.Phase formation,microstructure and composition of the two films were compared and studied.The results show that compared with the Cu/In double layer films,the Cu/In multilayer films presented better surface morphology and required less annealing time,and significantly reduced the volatilization loss of the In element,which is more favorable for making stoichiometric Cu/In precursor.

著录项

  • 来源
    《材料导报》 |2013年第16期|63-66|共4页
  • 作者单位

    湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室,湘潭411105;

    湘潭大学材料与光电物理学院,湘潭411105;

    湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室,湘潭411105;

    湘潭大学材料与光电物理学院,湘潭411105;

    湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室,湘潭411105;

    湘潭大学材料与光电物理学院,湘潭411105;

    湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室,湘潭411105;

    湘潭大学材料与光电物理学院,湘潭411105;

    湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室,湘潭411105;

    湘潭大学材料与光电物理学院,湘潭411105;

    湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室,湘潭411105;

    湘潭大学材料与光电物理学院,湘潭411105;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 薄膜的生长、结构和外延;薄膜太阳能电池;
  • 关键词

    电沉积; 叠层结构; Cu/In预制膜; 热处理;

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