低介电常数材料和氟化非晶碳薄膜的研究进展

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• 来源
  《材料导报》 |2005年第6期|20-22,35|共4页
• 作者

  闫继红; 宁兆元;

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• 作者单位

  合肥学院数学与物理系,合肥,230022;

  苏州大学物理学院,苏州,215006;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 工程材料学;
• 关键词

  低介电常数材料; 氟化非晶碳薄膜; 微电子器件; 电阻; 电容;