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铁电薄膜的制备及应用技术研究

         

摘要

研究出具有特色的制备铁电薄膜的sol-gel技术;制备出高质量、高可靠的PLT、PZT、PYZT、BST、PbTiO3、BaTiO3和bi4Ti3O12多晶铁电薄膜,PLT、PZT和BaTiO3异质外延生长铁电薄膜;研制出铁电薄膜热释电单元红外传感器,8元、9元、10元线列和8×8元阵列;研制出热释电火情探测器和热释电非接触式温度测试仪。

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