Φ2mm棒状压电陶瓷微马达的研究

阎立; 褚祥诚

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研制了一种成本低廉、结构简单的直径Φ２ｍｍ的摆头式棒状压电微马达。文中详细阐述了微马达的驱动机理、制作工艺及部分压电微马达的工作特性。该压电微马达的换能激振部分采用外形尺寸Φ２ｍｍ×８ｍｍ的压电陶瓷圆棒，马达整体装配外形尺寸Φ２ｍｍ×１２ｍｍ，重量不足０．２５ｇ，稳定工作频带宽，约为３ｋＨｚ，最高空载转速不低于５００ｒ／ｍｉｎ。

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来源
《材料导报》 |2000年第Z10期|178-179|共2页
作者
阎立; 褚祥诚;
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作者单位

清华大学材料科学与工程系,新型陶瓷与精细工艺国家重点实;

清华大学材料科学与工程系,新型陶瓷与精细工艺国家;

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正文语种 CHI
中图分类超导体电机;
关键词
微驱动器; 压电陶瓷; 压电超声微马达; 微电机;

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