Ti3O5薄膜的制备

郑嘹赢; 刘丽月

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Ｔｉ３Ｏ５是ＴｉＯｘ材料中相对较稳定的晶型，是一种潜在氧敏材料。与传统的ＴｉＯ２、ＺｒＯ２材料相比，具有阻温特性好的特点。通过Ｈ２还原ＴｉＯ２来制备Ｔｉ３Ｏ５薄膜，主要研究了不同原还温度和保温时间对薄膜晶相组成的影响。并对Ｔｉ３Ｏ５薄膜的导电性、电阻－温度稳定性及在氧化气氛中的晶格稳定性作了初步分析。

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来源
《材料导报》 |2000年第Z10期|135-136|共2页
作者
郑嘹赢; 刘丽月;
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作者单位

天津大学材料学院,天津;

天津大学材料学院,天津;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TQ174.758;
关键词
Ti3O5薄膜; 陶瓷材料; 制备; 性能;

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