正方形钛试样表面等离子体基离子注入氮的保留剂量研究

孙琦; 夏立芳; 马欣新

首页> 中文期刊> 《材料科学与工艺》 >正方形钛试样表面等离子体基离子注入氮的保留剂量研究

正方形钛试样表面等离子体基离子注入氮的保留剂量研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

为了研究靶形状对等离子体基离子注入均匀性的影响,应用Auger电子能谱(AES)剖面分析,测量并计算了正方形靶表面排布的Ti试样经氮等离子体基离子注入(PBII)的保留剂量分布.由于N的Auger电子发射能量与Ti的完全重合,而且表面氧化层对Ti的Auger跃迁产生很大的影响,因此应用AES对于氮等离子体基离子注入钛基金属进行化学分析变得较为复杂.本文探讨了一种既解决峰位重叠问题又考虑氧化层影响的方法,从而能够根据AES溅射剖面分析数据计算浓度深度曲线,并获得保留剂量.正方形靶表面不同位置处的剂量测算结果表明,靶的形状对于保留剂量有着很大的影响,造成剂量呈梯度分布.同时还发现,Ti氧化层随着保留剂量的增大而增厚.

著录项

来源
《材料科学与工艺》 |2003年第3期|273-276|共4页
作者
孙琦; 夏立芳; 马欣新;
展开▼
作者单位

哈尔滨工业大学,材料科学与工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,材料科学与工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,材料科学与工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类真空镀与气相镀法;
关键词
等离子体基离子注入; Auger电子能谱分析; 剂量分析; 钛基金属;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 铝合金表面氮和钛等离子体基离子注入改性层XPS研究 [J] . 廖家轩 ,夏立芳 ,孙跃 . 中国有色金属学报 . 2002,第001期
2. 氮及钛等离子体基离子注入铝合金表面改性层的摩擦磨损性能研究 [J] . 廖家轩 ,夏立芳 . 摩擦学学报 . 2001,第1期
3. 铝合金等离子体基离子注入氮/钛改性层成分分布 [J] . 廖家轩 ,夏立芳 ,孙跃 . 哈尔滨工业大学学报 . 2002,第001期
4. 铝合金等离子体基离子注入氮/钛层的结构 [J] . 廖家轩 ,夏立芳 . 中国有色金属学报 . 2001,第003期
5. 铝合金等离子体基离子注入氮/钛结构及摩擦学特性 [J] . 廖家轩 ,夏立芳 ,孙跃 . 材料热处理学报 . 2001,第2期
6. 氮钛双离子注入AZ31镁合金的抗腐蚀和力学性能研究 [C] . 刘洪喜 ,孟春蕾 ,林波 . 第七届中国热处理活动周 . 2010
7. 轴承钢等离子体基钽氮碳多元离子注入层组织及性能研究 [A] . 李忠文 . 2011

正方形钛试样表面等离子体基离子注入氮的保留剂量研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅