扭摆式微机械加速度计的系统研究

著录项

• 来源
  《测控技术》 |1999年第3期|9-11|共3页
• 作者

  黄胜华; 柯尊友; 周百令; 王寿荣;

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• 作者单位

  东南大学仪器科学与工程系,210096;

  东南大学仪器科学与工程系,210096;

  东南大学仪器科学与工程系,210096;

  东南大学仪器科学与工程系,210096;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 自动化技术及设备;
• 关键词

  加速度计; 微机械; 弱信号检测; 小电容测量;