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晶圆表面光刻胶的涂覆与刮边工艺的研究

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摘要

主要介绍了针对晶圆表层光刻胶的涂覆与刮边工艺,以及在研发过程中对生产工艺的总结.实践表明,该设备的研发成功满足了客户实现自动化生产的需求,有效提高了现场的生产效率,大大减少了人工成本,得到客户现场的一致好评.

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来源
《机械管理开发》 |2020年第11期|55-56|共2页
作者
金敏; 王芳;
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作者单位

中国电子科技集团公司第二研究所山西太原030024;

中国电子科技集团公司第二研究所山西太原030024;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造工艺;
关键词
晶圆; 光刻胶; 自动控制; 匀胶工艺;

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