应用原子力显微镜对单晶硅进行纳米级加工

赵清亮; 梁迎春; 王景贺; 王洪祥

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以原子力显微镜(AFM)作为加工工具,基于金刚石针尖对单晶硅进行了纳米加工实验,对纳米加工区域特性、材料在不同垂直载荷下的去除机理及切屑形成特征,进行了系统的研究和分析,提出了一种在纳米尺度下研究加工机理的新方法.在此基础上,应用有限元方法(FEM)对AFM纳米加工中存在于金刚石针尖和被加工材料之间的作用机制进行了计算仿真.

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来源
《微细加工技术》 |2001年第2期|61-66|共6页
作者
赵清亮; 梁迎春; 王景贺; 王洪祥;
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作者单位

哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨 150001;

哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨 150001;

哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨 150001;

哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨 150001;

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正文语种 chi
中图分类各种用途;
关键词
原子力显微镜; 金刚石针尖; 微/纳米加工; 有限元方法;

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