首页> 中文期刊> 《光机电信息》 >微水刀激光技术用于制造第4代OLED掩模版

微水刀激光技术用于制造第4代OLED掩模版

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

真空掩模蒸镀是制备OLED发光层的主要方法。OLED掩模版所用的材料是热膨胀系数极低的Invar合金。通常掩模版的厚度只有40μm，带有几百万个微小的长方形像素。由于使用三基色发光材料的彩色OLED在制造过程中需要先后使用几张掩模版，因而对掩模版的精度要求非常高。

著录项

来源
《光机电信息》 |2008年第11期|15-18|共4页
作者
刘光裕;
展开▼
作者单位

无;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体技术;
关键词
OLED; 制造过程; 掩模版; 微水刀激光技术; Invar合金; 发光材料; 热膨胀系数;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 微脉冲激光技术应用于中心性浆液性脉络膜视网膜病变的临床观察 [J] . 刘海军 ,高峰 ,赵志清 . 宁夏医学杂志 . 2021,第011期
2. 应用于硅基OLED微显示器的分段可调伽马校正 [J] . 黄振兴 ,黄苒 ,赵博华 . 液晶与显示 . 2020,第008期
3. 用于微显示的顶发射OLED的SPICE仿真模型研究 [J] . 宗绍鑫 ,李传南 ,吕晨怀 . 光子学报 . 2010,第S1期
4. 首台应用于AM—OLED显示屏制造的国产投影光刻机上线 [J] . . 集成电路应用 . 2013,第9期
5. OLED中的激光技术 [J] . 付国柱 . 光机电信息 . 2008,第011期
6. 一种应用于硅基OLED微显示驱动芯片的负压DC-DC变换器的设计 [C] . YANG Miao ,杨淼 ,ZHANG Liwen . 2014中国平板显示学术会议 . 2014
7. 用于微纳制造的“钢笔式”微器件直写方法研究 [A] . 朱华敏 . 2018

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号